Mae siambr cotio gwactod yr offer dyddodiad anwedd cemegol yn mabwysiadu strwythur oeri dŵr dwy haen annibynnol, sy'n effeithlon ac yn unffurf wrth oeri, ac mae ganddo strwythur diogel a sefydlog. Mae'r offer wedi'i gynllunio gyda drysau dwbl, ffenestri arsylwi lluosog a rhyngwynebau ehangu lluosog, sy'n gyfleus ar gyfer cysylltiad allanol perifferolion ategol fel mesur tymheredd is-goch, dadansoddiad sbectrol, monitro fideo a thermocwl. Mae'r cysyniad dylunio uwch yn gwneud yr ailwampio a'r cynnal a chadw dyddiol, newid ffurfweddiad ac uwchraddio'r offer yn hawdd ac yn syml, ac yn lleihau'r costau defnyddio ac uwchraddio yn effeithiol.
Nodweddion offer:
1. Mae cydrannau chwyddiant yr offer yn cynnwys mesurydd llif màs, falf solenoid a thanc cymysgu nwy yn bennaf, sy'n sicrhau rheolaeth gywir ar lif nwy proses, cymysgu unffurf ac ynysu gwahanol nwyon yn ddiogel, a gallant ddewis cydrannau system nwy ar gyfer defnyddio ffynhonnell nwy hylif, hwyluso dewis personol o ystod eang o ffynonellau carbon hylif, a defnyddio ffynonellau diemwnt dargludol synthetig a boron hylif electrod yn ddiogel.
2. Mae'r cynulliad echdynnu aer wedi'i gyfarparu â phwmp gwactod fane cylchdro tawel ac effeithlon a system bwmp moleciwlaidd turbo a all ymdopi'n gyflym â'r amgylchedd cefndir gwactod uchel. Defnyddir y mesurydd gwactod cyfansawdd gyda mesurydd gwrthiant a mesurydd ïoneiddio ar gyfer mesur gwactod, yn ogystal â'r system fesurydd ffilm capacitive a all fesur pwysedd gwahanol nwyon proses mewn ystod eang. Mae'r pwysedd dyddodiad yn cael ei reoli'n gwbl awtomatig gan falf rheoli cyfrannol manwl gywir.
3. Mae'r gydran dŵr oeri wedi'i chyfarparu â phwysedd dŵr aml-sianel, mesur llif, tymheredd a monitro awtomatig meddalwedd. Mae gwahanol gydrannau oeri yn annibynnol ar ei gilydd, sy'n gyfleus ar gyfer diagnosis nam cyflym. Mae gan bob cangen switshis falf annibynnol, sy'n ddiogel ac yn effeithlon.
4. Mae'r cydrannau rheoli trydanol yn mabwysiadu sgrin LCD rhyngwyneb dyn-peiriant maint mawr ac yn cydweithio â rheolaeth lawn-awtomatig PLC i hwyluso golygu a mewnforio fformiwla'r broses. Mae'r gromlin graffigol yn dangos newidiadau a gwerthoedd gwahanol baramedrau yn weledol, ac mae'r offer a'r paramedrau proses yn cael eu cofnodi a'u harchifo'n awtomatig i hwyluso olrhain problemau a dadansoddi data yn ystadegol.
5. Mae rac y darn gwaith wedi'i gyfarparu â modur servo i reoli codi a gostwng y bwrdd swbstrad. Gellir dewis y bwrdd swbstrad graffit neu gopr coch. Mesurir y tymheredd gan thermocwl.
6. Gellir dylunio cydrannau'r rac yn gyfan gwbl neu ar wahân yn unol â gofynion y cwsmer i fodloni gofynion trin arbennig cwsmeriaid.
7. Mae cydrannau'r plât selio yn brydferth ac yn gain. Gellir dadosod neu agor a chau'r platiau selio mewn gwahanol rannau modiwl swyddogaethol o'r offer yn gyflym, sy'n gyfleus iawn i'w defnyddio.
Mae offer CVD ffilament poeth yn addas ar gyfer dyddodi deunyddiau diemwnt, gan gynnwys cotio ffilm denau, ffilm drwchus hunangynhaliol, diemwnt microgrisialog a nanogrisialog, diemwnt dargludol, ac ati. Fe'i defnyddir yn bennaf ar gyfer cotio amddiffynnol sy'n gwrthsefyll traul ar offer torri carbid smentio, deunyddiau lled-ddargludyddion fel silicon a silicon carbid, cotio afradu gwres dyfeisiau, electrod diemwnt dargludol wedi'i dopio â boron, diheintio osôn dŵr electrolytig neu drin carthion.
| Modelau dewisol | maint y siambr fewnol |
| HFCVD0606 | φ600*H600(mm) |