HFCVD0606

Vakuová povlakovací komora zařízení pro chemické nanášení z plynné fáze využívá nezávislou dvouvrstvou vodní chladicí strukturu, která je efektivní a rovnoměrná při chlazení a má bezpečnou a stabilní konstrukci. Zařízení je navrženo s dvojitými dveřmi, několika pozorovacími okny a několika rozšiřujícími rozhraními, což usnadňuje externí připojení pomocných periferií, jako je infračervené měření teploty, spektrální analýza, video monitoring a termočlánek. Pokročilý design usnadňuje každodenní generální opravy a údržbu, změnu konfigurace a modernizaci zařízení a efektivně snižuje náklady na používání a modernizaci.

Vlastnosti vybavení:

1. Mezi nafukovací komponenty zařízení patří především hmotnostní průtokoměr, solenoidový ventil a směšovací nádrž na plyn, které zajišťují přesné řízení průtoku procesního plynu, rovnoměrné míchání a bezpečnou izolaci různých plynů a umožňují výběr komponent plynového systému pro použití zdroje kapalného plynu, usnadňují personalizovaný výběr široké škály zdrojů kapalného uhlíku a bezpečné používání syntetických vodivých diamantů a zdrojů kapalného bóru na elektrodách.
2. Odsávací zařízení je vybaveno tichou a účinnou rotační lopatkovou vývěvou a turbomolekulárním vývěvovým systémem, které dokáže rychle splnit požadavky na vysoké vakuum. Pro měření vakua se používá kompozitní vakuoměr s odporovým a ionizačním měřičem a také kapacitní filmový měřicí systém, který dokáže měřit tlak různých procesních plynů v širokém rozsahu. Tlak nanášení je plně automaticky řízen vysoce přesným proporcionálním regulačním ventilem.
3. Chladicí komponenta je vybavena vícekanálovým měřením tlaku vody, průtoku a teploty a softwarovým automatickým monitorováním. Různé chladicí komponenty jsou na sobě nezávislé, což usnadňuje rychlou diagnostiku závad. Všechny větve mají nezávislé ventilové spínače, což je bezpečné a efektivní.
4. Elektrické řídicí komponenty využívají velkoplošný LCD displej s rozhraním člověk-stroj a spolupracují s plně automatickým PLC řízením pro usnadnění úpravy a importu procesních vzorců. Grafická křivka vizuálně zobrazuje změny a hodnoty různých parametrů a parametry zařízení a procesu jsou automaticky zaznamenávány a archivovány pro usnadnění sledování problémů a statistické analýzy dat.
5. Stojan na obrobky je vybaven servomotorem pro ovládání zvedání a spouštění stolu substrátu. Lze zvolit grafitový nebo červený měděný stůl substrátu. Teplota se měří termočlánkem.
6. Komponenty regálu mohou být navrženy jako celek nebo samostatně dle požadavků zákazníka, aby splňovaly speciální manipulační požadavky zákazníků.
7. Komponenty těsnicích desek jsou krásné a elegantní. Těsnicí desky v různých funkčních modulech zařízení lze rychle demontovat nebo otevírat a zavírat nezávisle, což je velmi pohodlné.

Zařízení CVD s horkým filamentem je vhodné pro nanášení diamantových materiálů, včetně tenkovrstvých povlaků, samonosných tlustých filmů, mikrokrystalických a nanokrystalických diamantů, vodivých diamantů atd. Používá se hlavně pro otěruvzdorné ochranné povlaky na řezné nástroje ze slinutého karbidu, polovodičové materiály, jako je křemík a karbid křemíku, povlaky na odvod tepla u zařízení, vodivé diamantové elektrody dopované borem, ozonovou dezinfekci elektrolytické vody nebo čištění odpadních vod.