HFCVD0606

A camera di rivestimentu à vuoto di l'equipaggiu di deposizione chimica di vapore adotta una struttura indipendente di raffreddamentu à acqua à doppiu stratu, chì hè efficiente è uniforme in u raffreddamentu, è hà una struttura sicura è stabile. L'equipaggiu hè cuncipitu cù doppie porte, finestre d'osservazione multiple è interfacce d'espansione multiple, chì hè cunveniente per a cunnessione esterna di periferiche ausiliarie cum'è a misurazione di a temperatura à infrarossi, l'analisi spettrale, u monitoraghju video è a termocoppia. U cuncettu di cuncepimentu avanzatu rende a revisione è a manutenzione quotidiana, u cambiamentu di cunfigurazione è l'aghjurnamentu di l'equipaggiu faciule è simplice, è riduce efficacemente i costi d'usu è di aghjurnamentu.

Caratteristiche di l'equipaggiu:

1. I cumpunenti di inflazione di l'equipaggiu includenu principalmente u misuratore di flussu di massa, a valvula solenoidale è u serbatu di miscelazione di gas, chì assicuranu u cuntrollu precisu di u flussu di gas di prucessu, a miscelazione uniforme è l'isolamentu sicuru di diversi gas, è ponu selezziunà i cumpunenti di u sistema di gas per l'usu di a fonte di gas liquidu, facilità a selezzione persunalizata di una vasta gamma di fonti di carbone liquidu, è l'usu sicuru di fonti di boru liquidu di diamanti conduttivi sintetici è elettrodi.
2. L'assemblea di estrazione di l'aria hè dotata di una pompa à vuoto rotativa à palette silenziosa è efficiente è di un sistema di pompa turbo moleculare chì pò risponde rapidamente à l'ambiente di fondu à altu vuoto. U manometru di vuoto cumpostu cù manometru di resistenza è manometru di ionizazione hè utilizatu per a misurazione di u vuoto, è ancu u sistema di manometru à film capacitivu chì pò misurà a pressione di diversi gas di prucessu in una vasta gamma. A pressione di deposizione hè cuntrullata cumpletamente automaticamente da una valvula di cuntrollu proporzionale d'alta precisione.
3. U cumpunente di l'acqua di raffreddamentu hè dotatu di una misurazione multicanale di a pressione, di u flussu è di a temperatura di l'acqua è di un monitoraghju automaticu per software. I diversi cumpunenti di raffreddamentu sò indipendenti l'uni di l'altri, ciò chì hè cunveniente per una diagnosi rapida di i guasti. Tutte e branche anu interruttori di valvula indipendenti, ciò chì hè sicuru è efficiente.
4. I cumpunenti di cuntrollu elettricu aduttanu un schermu LCD d'interfaccia omu-macchina di grande dimensione è cooperanu cù u cuntrollu automaticu PLC per facilità a mudificazione è l'impurtazione di a formula di u prucessu. A curva grafica mostra visivamente i cambiamenti è i valori di i vari parametri, è i parametri di l'equipaggiu è di u prucessu sò registrati è archiviati automaticamente per facilità u tracciamentu di i prublemi è l'analisi statistica di i dati.
5. U rack di a pezza hè dotatu di un servomotore per cuntrullà u sollevamentu è l'abbassamentu di a tavola di u substratu. Pò esse sceltu u substratu di grafite o di rame rossu. A temperatura hè misurata da una termocuppia.
6. I cumpunenti di u rack ponu esse cuncipiti in tuttu o separatamente secondu i requisiti di u cliente per risponde à i requisiti speciali di manipulazione di i clienti.
7. I cumpunenti di a piastra di sigillatura sò belli è eleganti. E piastre di sigillatura in diverse zone di moduli funziunali di l'attrezzatura ponu esse smuntate rapidamente o aperte è chjuse indipindentamente, ciò chì hè assai cunveniente da aduprà.

L'equipaggiu CVD à filamentu caldu hè adattatu per deposità materiali diamantati, cumpresi rivestimenti di film sottili, film spessi autoportanti, diamanti microcristallini è nanocristallini, diamanti conduttivi, ecc. Hè principalmente adupratu per u rivestimentu protettivu resistente à l'usura di strumenti di taglio in carburo cementatu, materiali semiconduttori cum'è u siliciu è u carburo di siliciu, rivestimentu di dissipazione di u calore di dispositivi, elettrodi di diamanti conduttivi drogati cù boru, disinfezione à l'ozonu di l'acqua elettrolitica o trattamentu di l'acque reflue.