HFCVD0606

Вакуумната камера за покритие на оборудването за химическо отлагане от пари използва независима двуслойна структура за водно охлаждане, която е ефикасна и равномерно охлаждаща, и има безопасна и стабилна структура. Оборудването е проектирано с двойни врати, множество прозорци за наблюдение и множество интерфейси за разширение, което е удобно за външно свързване на допълнителни периферни устройства, като инфрачервено измерване на температурата, спектрален анализ, видео наблюдение и термодвойка. Усъвършенстваната концепция за дизайн прави ежедневния основен ремонт и поддръжка, промяната на конфигурацията и надграждането на оборудването лесно и просто, и ефективно намалява разходите за употреба и надграждане.

Характеристики на оборудването:

1. Компонентите за надуване на оборудването включват главно масов разходомер, електромагнитен клапан и резервоар за смесване на газ, които осигуряват точния контрол на потока на технологичния газ, равномерното смесване и безопасното изолиране на различните газове, и могат да избират компоненти на газовата система за използване на източник на течен газ, улесняват персонализирания избор на широка гама от източници на течен въглерод и безопасното използване на синтетични проводими диаманти и източници на течен бор за електроди.
2. Въздухоизвличащият агрегат е оборудван с безшумна и ефикасна ротационна вакуумна помпа и турбомолекулярна помпена система, които могат бързо да се справят с високия вакуум. За измерване на вакуум се използва композитен вакуумметър с резисторен и йонизационен датчик, както и капацитивна филмова манометърна система, която може да измерва налягането на различни технологични газове в широк диапазон. Налягането на отлагане е напълно автоматично, контролирано от високопрецизен пропорционален контролен вентил.
3. Компонентът за охлаждаща вода е оборудван с многоканално измерване на водно налягане, дебит, температура и софтуерно автоматично наблюдение. Различните компоненти за охлаждане са независими един от друг, което е удобно за бърза диагностика на повреди. Всички клонове имат независими превключватели на клапани, което е безопасно и ефикасно.
4. Електрическите компоненти за управление използват голям LCD екран с интерфейс човек-машина и си сътрудничат с напълно автоматично управление от PLC, за да улеснят редактирането и импортирането на технологични формули. Графичната крива визуално показва промените и стойностите на различни параметри, а параметрите на оборудването и процеса се записват и архивират автоматично, за да се улесни проследяването на проблеми и статистическият анализ на данните.
5. Стойката за детайли е оборудвана със серво мотор за управление на повдигането и спускането на масата за подложка. Може да се избере маса за подложка от графит или червена мед. Температурата се измерва с термодвойка.
6. Компонентите на стелажа могат да бъдат проектирани като цяло или поотделно според изискванията на клиента, за да отговарят на специалните изисквания за обработка на клиентите.
7. Компонентите на уплътнителните плочи са красиви и елегантни. Уплътнителните плочи в различните функционални модулни области на оборудването могат бързо да се демонтират или отварят и затварят независимо, което е много удобно за употреба.

Оборудването за CVD с гореща нишка е подходящо за нанасяне на диамантени материали, включително тънкослойни покрития, самоносещи дебели филми, микрокристални и нанокристални диаманти, проводими диаманти и др. Използва се главно за износоустойчиво защитно покритие на режещи инструменти от циментиран карбид, полупроводникови материали като силиций и силициев карбид, покритие за разсейване на топлината на устройства, проводими диамантени електроди, легирани с бор, озонова дезинфекция на електролитна вода или пречистване на отпадъчни води.