HFCVD0606

የኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ መሳሪያዎች የቫኩም ሽፋን ክፍል ገለልተኛ ባለ ሁለት ሽፋን የውሃ ማቀዝቀዣ መዋቅርን ይቀበላል, ይህም በብቃት እና በማቀዝቀዝ ውስጥ አንድ አይነት ነው, እና አስተማማኝ እና የተረጋጋ መዋቅር አለው. መሳሪያዎቹ የተነደፉት በድርብ በሮች፣ በርካታ የመመልከቻ መስኮቶች እና በርካታ የማስፋፊያ በይነገጾች ሲሆን ይህም እንደ ኢንፍራሬድ የሙቀት መለኪያ፣ የእይታ ትንተና፣ የቪዲዮ ክትትል እና ቴርሞኮፕል ላሉ ረዳት ክፍሎች ውጫዊ ግንኙነት ምቹ ነው። የላቀ የንድፍ ፅንሰ-ሀሳብ እለታዊ ጥገና እና ጥገና፣ የውቅረት ለውጥ እና የመሳሪያውን ማሻሻል ቀላል እና ቀላል ያደርገዋል እንዲሁም የአጠቃቀም እና የማሻሻያ ወጪዎችን ውጤታማ ያደርገዋል።

የመሳሪያ ባህሪያት:

1.The መሣሪያዎች የዋጋ ግሽበት ክፍሎች በዋናነት ሂደት ጋዝ ፍሰት, ወጥ መቀላቀልን እና የተለያዩ ጋዞች መካከል ደህንነቱ ማግለል ያለውን ትክክለኛ ቁጥጥር ለማረጋገጥ ይህም የጅምላ ፍሰት ሜትር, solenoid ቫልቭ እና ጋዝ መቀላቀልን ታንክ ያካትታሉ, እና ፈሳሽ ጋዝ ምንጭ አጠቃቀም የሚሆን ጋዝ ሥርዓት ክፍሎች መምረጥ ይችላሉ, ፈሳሽ የካርቦን ምንጮች መካከል ሰፊ ክልል ያለውን ግላዊ ምርጫ ለማመቻቸት, እና ሠራሽ conductive አልማዝ እና ኤሌክትሮ ፈሳሽ ቦሮን ፈሳሽ ቦረቦረ.
2.The አየር የማውጣት ስብሰባ በፍጥነት ከፍተኛ ቫክዩም ዳራ አካባቢ ማሟላት የሚችል ጸጥ ያለ እና ቀልጣፋ rotary vane vacuum ፓምፕ እና ቱርቦ ሞለኪውላዊ ፓምፕ ሥርዓት የታጠቁ ነው. የተቀነባበረ የቫኩም መለኪያ በተቃውሞ መለኪያ እና ionization መለኪያ ለቫኩም መለኪያ ጥቅም ላይ ይውላል, እንዲሁም የተለያዩ የሂደት ጋዞችን ግፊት በስፋት ሊለካ የሚችል የ capacitive ፊልም መለኪያ ስርዓት ጥቅም ላይ ይውላል. የማስቀመጫ ግፊቱ ሙሉ በሙሉ በራስ-ሰር በከፍተኛ ትክክለኛነት በተመጣጣኝ መቆጣጠሪያ ቫልቭ ቁጥጥር ይደረግበታል።
3.የማቀዝቀዣው የውሃ አካል በበርካታ ቻናል የውሃ ግፊት, ፍሰት, የሙቀት መለኪያ እና የሶፍትዌር አውቶማቲክ ቁጥጥር የተገጠመለት ነው. የተለያዩ የማቀዝቀዣ ክፍሎች አንዳቸው ከሌላው ነፃ ናቸው, ይህም ፈጣን ስህተትን ለመመርመር ምቹ ነው. ሁሉም ቅርንጫፎች ገለልተኛ የቫልቭ መቀየሪያዎች አሏቸው, ይህም አስተማማኝ እና ቀልጣፋ ነው.
4.የኤሌክትሪክ መቆጣጠሪያ አካላት ትልቅ መጠን ያለው ሰው-ማሽን በይነገጽ LCD ስክሪን ይቀበላሉ እና ከ PLC ሙሉ-አውቶማቲክ ቁጥጥር ጋር በመተባበር የሂደቱን ቀመር ማስተካከል እና ማስመጣት ለማመቻቸት። የግራፊክ ኩርባው የተለያዩ መለኪያዎች ለውጦችን እና እሴቶችን በእይታ ያሳያል፣ እና የችግር ፍለጋን እና የውሂብ ስታቲስቲካዊ ትንታኔን ለማመቻቸት መሳሪያዎቹ እና የሂደቱ መለኪያዎች በራስ ሰር ተመዝግበው በማህደር ይቀመጣሉ።
5.The workpiece መደርደሪያ substrate ጠረጴዛ ማንሳት እና ዝቅ ለመቆጣጠር አንድ servo ሞተር ጋር የታጠቁ ነው. የግራፋይት ወይም ቀይ የመዳብ ንኡስ ሠንጠረዥ ሊመረጥ ይችላል. የሙቀት መጠኑ የሚለካው በቴርሞኮፕል ነው.
6.The rack ክፍሎች የደንበኞችን ልዩ አያያዝ መስፈርቶች ለማሟላት በደንበኞች መስፈርቶች መሠረት በአጠቃላይ ወይም በተናጥል ሊዘጋጁ ይችላሉ.
7.The መታተም የታርጋ ክፍሎች ውብ እና የሚያምር ናቸው. በመሳሪያዎቹ የተለያዩ ተግባራዊ ሞጁል ቦታዎች ውስጥ ያሉ የማተሚያ ሰሌዳዎች በፍጥነት ሊበታተኑ ወይም ሊከፈቱ እና በተናጥል ሊዘጉ ይችላሉ, ይህም ለመጠቀም በጣም ምቹ ነው.

ሙቅ ክር CVD መሣሪያዎች ቀጭን ፊልም ሽፋን, ራስን የሚደግፍ ወፍራም ፊልም, microcrystalline እና nanocrystalline አልማዝ, conductive አልማዝ, ወዘተ ጨምሮ የአልማዝ ቁሳቁሶችን ለማስቀመጥ ተስማሚ ነው. ይህ በዋናነት የሲሚንቶ ካርበይድ መቁረጫ መሣሪያዎች, ሴሚኮንዳክተር ቁሶች እንደ ሲሊከን እና ሲሊከን ካርበይድ እንደ, መሣሪያዎች ሙቀት dissipation ሽፋን, ቦሮን doped conductive የአልማዝ ዳይመንድ electrode, የኦዞን doped conductive አልማዝ electrode, ኦዞን doped conductive አልማዝ ኤሌክትሮ, ወይም.