HFCVD0606

Die vakuumbedekkingskamer van die chemiese dampafsettingstoerusting gebruik 'n onafhanklike dubbellaag-waterverkoelingsstruktuur, wat doeltreffend en eenvormig in verkoeling is, en 'n veilige en stabiele struktuur het. Die toerusting is ontwerp met dubbeldeure, veelvuldige waarnemingsvensters en veelvuldige uitbreidingskoppelvlakke, wat gerieflik is vir eksterne verbinding van hulprandapparatuur soos infrarooi temperatuurmeting, spektrale analise, videomonitering en termokoppel. Die gevorderde ontwerpkonsep maak die daaglikse opknapping en onderhoud, konfigurasieverandering en opgradering van die toerusting maklik en eenvoudig, en verminder die gebruiks- en opgraderingskoste effektief.

Toerustingkenmerke:

1. Die inflasiekomponente van die toerusting sluit hoofsaaklik massavloeimeter, solenoïdeklep en gasmengtenk in, wat die akkurate beheer van prosesgasvloei, eenvormige vermenging en veilige isolasie van verskillende gasse verseker, en gasstelselkomponente kan kies vir die gebruik van vloeibare gasbronne, die persoonlike keuse van 'n wye reeks vloeibare koolstofbronne vergemaklik, en die veilige gebruik van sintetiese geleidende diamant- en elektrodevloeibare boorbronne.
2. Die lugonttrekkingsamestelling is toegerus met 'n stil en doeltreffende roterende vaanvakuumpomp en 'n turbo-molekulêre pompstelsel wat vinnig in die hoëvakuum-agtergrondomgewing kan aanpas. Die saamgestelde vakuummeter met weerstandsmeter en ionisasiemeter word gebruik vir vakuummeting, sowel as die kapasitiewe filmmeterstelsel wat die druk van verskillende prosesgasse in 'n wye reeks kan meet. Die afsettingsdruk word ten volle outomaties beheer deur 'n hoë-presisie proporsionele beheerklep.
3. Die verkoelingswaterkomponent is toegerus met multikanaal waterdruk, vloei, temperatuurmeting en sagteware outomatiese monitering. Verskillende verkoelingskomponente is onafhanklik van mekaar, wat gerieflik is vir vinnige foutdiagnose. Alle takke het onafhanklike klepskakelaars, wat veilig en doeltreffend is.
4. Die elektriese beheerkomponente gebruik 'n groot mens-masjien-koppelvlak LCD-skerm en werk saam met PLC voloutomatiese beheer om die redigering en invoer van die prosesformule te vergemaklik. Die grafiese kurwe vertoon visueel die veranderinge en waardes van verskeie parameters, en die toerusting- en prosesparameters word outomaties aangeteken en geargiveer om probleemopsporing en data-statistiese analise te vergemaklik.
5. Die werkstukrak is toegerus met 'n servomotor om die oplig en sak van die substraattafel te beheer. Die grafiet- of rooi koper-substraattafel kan gekies word. Die temperatuur word deur 'n termokoppel gemeet.
6. Die rakkomponente kan as 'n geheel of afsonderlik volgens kliëntvereistes ontwerp word om aan die spesiale hanteringsvereistes van kliënte te voldoen.
7. Die verseëlplaatkomponente is pragtig en elegant. Die verseëlplate in verskillende funksionele module-areas van die toerusting kan vinnig uitmekaar gehaal of onafhanklik oopgemaak en toegemaak word, wat baie gerieflik is om te gebruik.

Warmfilament CVD-toerusting is geskik vir die neerlegging van diamantmateriale, insluitend dunfilmbedekkings, selfondersteunende dikfilm, mikrokristallyne en nanokristallyne diamante, geleidende diamante, ens. Dit word hoofsaaklik gebruik vir slytasiebestande beskermende bedekkings van gesementeerde karbied-snygereedskap, halfgeleiermateriale soos silikon en silikonkarbied, hitte-afvoerbedekkings van toestelle, boor-gedoteerde geleidende diamantelektrode, osoonontsmetting van elektrolitiese water of rioolbehandeling.