HFCVD0606

Vakuumbelægningskammeret i det kemiske dampaflejringsudstyr vedtager en uafhængig dobbeltlags vandkølingsstruktur, som er effektiv og ensartet i køling og har en sikker og stabil struktur.Udstyret er designet med dobbeltdøre, flere observationsvinduer og flere ekspansionsgrænseflader, hvilket er praktisk til ekstern tilslutning af ekstraudstyr såsom infrarød temperaturmåling, spektralanalyse, videoovervågning og termoelement.Det avancerede designkoncept gør det daglige eftersyn og vedligeholdelse, konfigurationsændring og opgradering af udstyret let og enkelt og reducerer effektivt brugs- og opgraderingsomkostningerne.

Udstyrsfunktioner:

1. Udstyrets oppustningskomponenter omfatter hovedsageligt masseflowmåler, magnetventil og gasblandetank, som sikrer nøjagtig kontrol af procesgasflow, ensartet blanding og sikker isolering af forskellige gasser og kan vælge gassystemkomponenter til brug af flydende gaskilde, lette det personlige valg af en bred vifte af flydende kulstofkilder og sikker brug af syntetiske ledende diamant- og elektrodekilder til flydende bor.
2. Luftudsugningsenheden er udstyret med en lydløs og effektiv roterende vingevakuumpumpe og et turbomolekylært pumpesystem, der hurtigt kan imødekomme baggrundsmiljøet med højt vakuum.Den sammensatte vakuummåler med modstandsmåler og ioniseringsmåler bruges til vakuummåling, samt det kapacitive filmmålersystem, der kan måle trykket af forskellige procesgasser i et bredt område.Afsætningstrykket er fuldautomatisk styret af højpræcision proportional reguleringsventil.
3. Kølevandskomponenten er udstyret med multi-kanal vandtryk, flow, temperaturmåling og software automatisk overvågning.Forskellige kølekomponenter er uafhængige af hinanden, hvilket er praktisk til hurtig fejldiagnose.Alle filialer har uafhængige ventilafbrydere, hvilket er sikkert og effektivt.
4. De elektriske kontrolkomponenter vedtager LCD-skærmen med stor størrelse menneske-maskine-grænseflade og samarbejder med PLC fuldautomatisk kontrol for at lette redigering og import af procesformlen.Den grafiske kurve viser visuelt ændringerne og værdierne af forskellige parametre, og udstyrs- og procesparametrene registreres automatisk og arkiveres for at lette problemsporing og statistisk dataanalyse.
5. Arbejdsstykkestativet er udstyret med en servomotor til at styre løft og sænkning af underlagsbordet.Grafit- eller rødkobbersubstratbordet kan vælges.Temperaturen måles af et termoelement.
6. Stativkomponenterne kan designes som en helhed eller separat i henhold til kundens krav for at opfylde kundernes særlige håndteringskrav.
7. Tætningspladekomponenterne er smukke og elegante.Tætningspladerne i udstyrets forskellige funktionelle modulområder kan hurtigt adskilles eller åbnes og lukkes uafhængigt, hvilket er meget praktisk at bruge.

Varmt filament CVD-udstyr er velegnet til afsætning af diamantmaterialer, herunder tyndfilmbelægning, selvbærende tyk film, mikrokrystallinsk og nanokrystallinsk diamant, ledende diamant osv. Det bruges hovedsageligt til slidbestandig beskyttende belægning af hårdmetalskæreværktøjer, halvledermaterialer såsom silicium og siliciumcarbid, varmeafledningsbelægning af enheder, bordoteret ledende diamantelektrode, ozondesinfektion af elektrolytisk vand eller spildevandsbehandling.