Ohun èlò ìbòrí Magnetron ni láti lo ọ̀nà ìgbóná magnetron láti yí ohun èlò ìbòrí padà sí ipò gaseous tàbí ionic nínú àyíká afẹ́fẹ́, lẹ́yìn náà kí o sì fi sí orí iṣẹ́ náà láti ṣẹ̀dá fíìmù tó nípọn. Kí ó lè mú kí ipò ojú ilẹ̀ dára síi tàbí kí ó gba iṣẹ́ pàtàkì kan ti fíìmù iṣẹ́ tàbí ohun ọ̀ṣọ́.
Awọn ẹrọ gba magnetron sputtering eto ati konge yikaka Iṣakoso eto, ati ni ipese pẹlu servo motor drive Iṣakoso eto lati mọ ibakan ẹdọfu ati ibakan iyara Iṣakoso.
1. Pẹ̀lú ètò fífẹ̀ fíìmù aládàáṣe, fíìmù náà kò ní ìfọ́, dídára yíyípo náà sì ga.
2. A fi eto iṣakoso pipade kun lati mu oṣuwọn gbigbe nkan pọ si. A le fi fiimu dielectric multilayer bo lori okun PET nigbagbogbo pẹlu iwọn 1100mm, pẹlu atunṣe to dara ati ilana iduroṣinṣin.
3. Ètò yíyípo àti ibi tí a fẹ́ lò ni a lè fà jáde láti ìpẹ̀kun méjèèjì lẹ́sẹẹsẹ láti mú kí gbígbé àti ṣíṣí àwọn ohun èlò ìbòrí náà àti ìyípadà ibi tí a fẹ́ lò fún ìtọ́jú rọrùn.
Ẹ̀rọ náà ní ìwọ̀n gíga ti adaṣiṣẹ, ó ń ṣe àkíyèsí ipò iṣẹ́ ẹ̀rọ náà láìfọwọ́sí, ó sì ní iṣẹ́ ti itaniji àṣìṣe àti ààbò aládàáṣe. Iṣẹ́ ẹ̀rọ náà kéré ní ìṣòro.
Àwọn ohun èlò náà lè kó Nb2O5, TiO2, SiO2 àti àwọn oxide mìíràn, Cu, Al, Cr, Ti àti àwọn irin mìíràn tí ó rọrùn, èyí tí a sábà máa ń lò fún gbígbé àwọn fíìmù aláwọ̀ onípele púpọ̀ àti àwọn fíìmù irin tí ó rọrùn kalẹ̀. Ohun èlò náà dára fún fíìmù PET, aṣọ amúlétutù àti àwọn ohun èlò fíìmù mìíràn tí ó rọrùn, a sì ń lò ó gidigidi nínú fíìmù ohun ọ̀ṣọ́ fóònù alágbéká, fíìmù ìpamọ́, fíìmù ààbò itanna EMI, fíìmù tí ó hàn gbangba ITO àti àwọn ọjà mìíràn.
| Àwọn àwòṣe àṣàyàn | Iwọn ohun elo (iwọn) |
| RCX1100 | 1100(mm) |