Sa estado ng vacuum, ilagay ang workpiece sa cathode ng low-pressure glow discharge at mag-inject ng naaangkop na gas. Sa isang tiyak na temperatura, isang patong ang nakukuha sa ibabaw ng workpiece gamit ang proseso ng ionization polymerization na pinagsasama ang kemikal na reaksyon at plasma, habang ang mga gas na sangkap ay hinihigop sa ibabaw ng workpiece at tumutugon sa isa't isa, at sa huli ay isang solidong pelikula ang nabubuo at idineposito sa ibabaw ng workpiece.
Katangian:
1. Mababang temperaturang pagbuo ng pelikula, ang temperatura ay may kaunting epekto sa workpiece, na iniiwasan ang magaspang na butil ng pagbuo ng pelikulang may mataas na temperatura, at ang layer ng pelikula ay hindi madaling mahulog.
2. Maaari itong pahiran ng makapal na pelikula, na may pare-parehong komposisyon, mahusay na epekto ng harang, siksik, maliit na panloob na stress at hindi madaling makagawa ng mga micro-crack.
3. Ang gawaing plasma ay may epekto sa paglilinis, na nagpapataas ng pagdikit ng pelikula.
Ang kagamitang ito ay pangunahing ginagamit para sa pagpapahid ng SiOx high resistance barrier sa PET, PA, PP at iba pang mga materyales na film. Malawakan itong ginagamit sa packaging ng mga produktong medikal/parmasyutiko, mga elektronikong bahagi at packaging ng pagkain, pati na rin sa mga lalagyan ng packaging para sa mga inumin, matatabang pagkain at mga nakakaing langis. Ang film ay may mahusay na katangian ng barrier, kakayahang umangkop sa kapaligiran, mataas na microwave permeability at transparency, at halos hindi apektado ng mga pagbabago sa kahalumigmigan at temperatura sa kapaligiran. Nilulutas nito ang problema na maaaring magdulot ng mga epekto sa kalusugan ang mga tradisyonal na materyales sa packaging.
| Mga opsyonal na modelo | Laki ng kagamitan (lapad) |
| RBW1250 | 1250(mm) |