Beýleki örtük tehnologiýalary bilen deňeşdirilende, püskürtme örtüginiň aşakdaky möhüm aýratynlyklary bar: iş parametrleriniň uly dinamiki sazlama aralygy bar, örtügiň çökme tizligi we galyňlygy (örtme meýdanynyň ýagdaýy) gözegçilikde saklamak aňsat we örtügiň birmeňzeşligini üpjün etmek üçin püskürtme nyşanynyň geometriýasynda dizaýn çäklendirmeleri ýok; Plýonka gatlagynda damja bölejikleri meselesi ýok: diýen ýaly ähli metallar, erginler we keramiki materiallar nyşana materiallara öwrülip bilner; DC ýa-da RF püskürtme arkaly, plýonkalaryň dürli we ýokary takyklyk talaplaryny kanagatlandyrmak üçin takyk we hemişelik proporsiýaly arassa metal ýa-da ergin örtükler we gaz gatnaşygy bilen metal reaksiýa plýonkalary döredilip bilner. Püskürtme örtüginiň adaty proses parametrleri: iş basyşy 01Pa; nyşana naprýaženiýesi 300 ~ 700V we nyşana kuwwat dykyzlygy 1 ~ 36W / sm2. Püskürtmegiň aýratyn aýratynlyklary:
(1) Ýokary çökündi tizligi. Elektrodlaryň ulanylmagy sebäpli, nyşana bombardman ionlarynyň örän uly akymlary alnyp bilner, şonuň üçin nyşana ýüzünde püskürme tizligi we substrat ýüzünde plýonka çökündi tizligi ýokarydyr.
(2) Ýokary energiýa netijeliligi. Pes energiýaly elektronlar bilen gaz atomlarynyň arasyndaky çaknyşma ähtimallygy ýokary, şonuň üçin gazyň ionlaşma tizligi ep-esli ýokarlanýar. Şonuň üçin, boşaldylýan gazyň (ýa-da plazmanyň) impedansy ep-esli azalýar. Şonuň üçin, DC iki polýusly püskürtme bilen deňeşdirilende, iş basyşy 1 ~ 10Pa-dan 10-2 ~ 10-1Pa-a çenli azalsa-da, püskürtme naprýaženiýesi birnäçe müň woltdan ýüzlerçe wolt çenli azalýar we püskürtme netijeliligi we çökündi tizligi uly möçberde ýokarlanýar.
(3) Pes energiýaly püskürtme. Nyşana berlen pes katod naprýaženiýesi sebäpli, plazma katodyň golaýyndaky giňişlikde magnit meýdany bilen baglanýar, bu bolsa ýokary energiýaly zarýadly bölejikleriň substratyň gapdalyna düşmeginiň öňüni alýar. Şonuň üçin, zarýadly bölejikleriň ýarymgeçiriji enjamlar ýaly substratlara bombardman edilmeginiň ýetiren zyýanynyň derejesi beýleki püskürtme usullaryna garanyňda pesdir.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 8-nji sentýabry