Boshqa qoplama texnologiyalari bilan taqqoslaganda, purkash qoplamasi quyidagi muhim xususiyatlarga ega: ish parametrlari katta dinamik sozlash diapazoniga ega, qoplamaning cho'kish tezligi va qalinligi (qoplama maydonining holati) ni boshqarish oson va qoplamaning bir xilligini ta'minlash uchun purkash nishonining geometriyasida dizayn cheklovlari yo'q; Plyonka qatlamida tomchi zarrachalari muammosi yo'q: deyarli barcha metallar, qotishmalar va keramik materiallar maqsadli materiallarga aylanishi mumkin; DC yoki RF purkash orqali plyonkalarning xilma-xil va yuqori aniqlikdagi talablarini qondirish uchun aniq va doimiy nisbatlarga ega sof metall yoki qotishma qoplamalar va gaz ishtirokidagi metall reaksiya plyonkalari yaratilishi mumkin. Puflash qoplamasining odatiy jarayon parametrlari quyidagilardir: ish bosimi 01Pa; maqsadli kuchlanish 300 ~ 700V va maqsadli quvvat zichligi 1 ~ 36W / sm2. Puflashning o'ziga xos xususiyatlari quyidagilardir:
(1) Yuqori cho'kish tezligi. Elektrodlardan foydalanish tufayli juda katta nishon bombardimon ion oqimlari olinishi mumkin, shuning uchun nishon yuzasida purkash tezligi va substrat yuzasida plyonka cho'kish tezligi yuqori.
(2) Yuqori energiya samaradorligi. Kam energiyali elektronlar va gaz atomlari o'rtasidagi to'qnashuv ehtimoli yuqori, shuning uchun gaz ionlanish tezligi sezilarli darajada oshadi. Shunga mos ravishda, chiqindi gazining (yoki plazmaning) empedansi sezilarli darajada kamayadi. Shuning uchun, DC ikki qutbli purkash bilan solishtirganda, ish bosimi 1 ~ 10Pa dan 10-2 ~ 10-1Pa gacha kamaytirilsa ham, purkash kuchlanishi bir necha ming voltdan yuzlab voltgacha kamayadi va purkash samaradorligi va cho'kish tezligi kattalik tartibiga oshadi.
(3) Kam energiyali purkash. Nishonga qo'llaniladigan past katod kuchlanishi tufayli plazma katod yaqinidagi bo'shliqda magnit maydon bilan bog'langan bo'lib, bu yuqori energiyali zaryadlangan zarrachalarning substrat yon tomoniga tushishini oldini oladi. Shuning uchun, yarimo'tkazgichli qurilmalar kabi substratlarga zaryadlangan zarrachalarning bombardimon qilinishi natijasida kelib chiqadigan zarar darajasi boshqa purkash usullariga qaraganda pastroq.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua.
Joylashtirilgan vaqt: 2023-yil 8-sentabr