Басқа жабын технологияларымен салыстырғанда, шашырату жабынының келесі маңызды ерекшеліктері бар: жұмыс параметрлерінің динамикалық реттеу диапазоны үлкен, жабынның тұндыру жылдамдығы мен қалыңдығы (жабын аймағының күйі) оңай басқарылады және жабынның біркелкілігін қамтамасыз ету үшін шашырату нысанасының геометриясына ешқандай жобалық шектеулер жоқ; Пленка қабатында тамшы бөлшектерінің проблемасы жоқ: барлық дерлік металдар, қорытпалар және керамикалық материалдардан нысана материалдарын жасауға болады; Тұрақты немесе радиожиілікті шашырату арқылы пленкалардың әртүрлі және жоғары дәлдіктегі талаптарын қанағаттандыру үшін дәл және тұрақты пропорциялары бар таза металл немесе қорытпа жабындары және газ қатысатын металл реакция пленкалары жасалуы мүмкін. Шашырату жабынының типтік технологиялық параметрлері: жұмыс қысымы 01Pa; нысана кернеуі 300 ~ 700 В, ал нысана қуатының тығыздығы 1 ~ 36 Вт / см2. Шашыратудың ерекше сипаттамалары:
(1) Жоғары тұндыру жылдамдығы. Электродтарды пайдаланудың арқасында өте үлкен нысана бомбалау иондық токтарын алуға болады, сондықтан нысана бетіндегі шашыраңқы ою жылдамдығы және негіз бетіндегі пленканың тұндыру жылдамдығы жоғары.
(2) Жоғары қуат тиімділігі. Төмен энергиялы электрондар мен газ атомдарының соқтығысу ықтималдығы жоғары, сондықтан газдың иондану жылдамдығы айтарлықтай артады. Тиісінше, разряд газының (немесе плазманың) кедергісі айтарлықтай төмендейді. Сондықтан, тұрақты токтың екі полюсті тозаңдатуымен салыстырғанда, жұмыс қысымы 1 ~ 10Па-дан 10-2 ~ 10-1Па-ға дейін төмендегеннің өзінде, тозаңдату кернеуі бірнеше мың вольттан жүздеген вольтқа дейін төмендейді, ал тозаңдату тиімділігі мен тұндыру жылдамдығы бірнеше есе артады.
(3) Төмен энергиялы тозаңдату. Нысанаға берілетін төмен катодты кернеуге байланысты плазма катодқа жақын кеңістікте магнит өрісімен байланысады, бұл жоғары энергиялы зарядталған бөлшектердің субстраттың бүйіріне түсуіне кедергі келтіреді. Сондықтан, жартылай өткізгіш құрылғылар сияқты субстраттарға зарядталған бөлшектердің бомбалануынан келтірілген зақым дәрежесі басқа тозаңдату әдістеріне қарағанда төмен.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 8 қыркүйек