Digər örtük texnologiyaları ilə müqayisədə püskürtmə örtüyü aşağıdakı əhəmiyyətli xüsusiyyətlərə malikdir: işləmə parametrləri geniş dinamik tənzimləmə diapazonuna malikdir, örtük çökmə sürəti və qalınlığı (örtük sahəsinin vəziyyəti) idarə etmək asandır və örtüyün vahidliyini təmin etmək üçün püskürtmə hədəfinin həndəsəsində heç bir dizayn məhdudiyyəti yoxdur; Film təbəqəsində damcı hissəcikləri problemi yoxdur: demək olar ki, bütün metallar, ərintilər və keramika materialları hədəf materiallara çevrilə bilər; DC və ya RF püskürtmə yolu ilə, filmlərin müxtəlif və yüksək dəqiqlik tələblərini ödəmək üçün dəqiq və sabit nisbətlərə malik təmiz metal və ya ərinti örtükləri və qaz iştirakı ilə metal reaksiya filmləri yaradıla bilər. Püskürtmə örtüyünün tipik proses parametrləri bunlardır: işçi təzyiqi 01Pa; Hədəf gərginliyi 300~700V və hədəf güc sıxlığı 1~36W/sm2-dir. Püskürtmənin spesifik xüsusiyyətləri bunlardır:
(1) Yüksək çökmə sürəti. Elektrodların istifadəsi səbəbindən çox böyük hədəf bombardman ion cərəyanları əldə edilə bilər, buna görə də hədəf səthində püskürtmə aşınma sürəti və substrat səthində film çökmə sürəti yüksəkdir.
(2) Yüksək enerji səmərəliliyi. Aşağı enerjili elektronlar və qaz atomları arasında toqquşma ehtimalı yüksəkdir, buna görə də qazın ionlaşma sürəti xeyli artır. Müvafiq olaraq, boşalma qazının (və ya plazmanın) empedansı xeyli azalır. Buna görə də, DC iki qütblü püskürtmə ilə müqayisədə, işçi təzyiqi 1~10Pa-dan 10-2~10-1Pa-ya endirilsə belə, püskürtmə gərginliyi bir neçə min voltdan yüzlərlə volta endirilir və püskürtmə səmərəliliyi və çökmə sürəti dəfələrlə artır.
(3) Aşağı enerjili püskürtmə. Hədəfə tətbiq olunan aşağı katod gərginliyi səbəbindən plazma katodun yaxınlığındakı məkanda maqnit sahəsi ilə bağlanır ki, bu da yüksək enerjili yüklü hissəciklərin substratın yan tərəfinə düşməsinin qarşısını alır. Buna görə də, yüklü hissəciklərin yarımkeçirici cihazlar kimi substratlara bombardman edilməsinin vurduğu zərərin dərəcəsi digər püskürtmə üsullarına nisbətən daha aşağıdır.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua.
Yazı vaxtı: 08 sentyabr 2023