Đặc điểm của lớp phủ lắng đọng bằng phương pháp phún xạ magnetron, chương 1.

So với các công nghệ phủ khác, phủ bằng phương pháp phún xạ có những đặc điểm nổi bật sau: các thông số hoạt động có phạm vi điều chỉnh động lớn, tốc độ và độ dày lớp phủ (trạng thái vùng phủ) dễ kiểm soát, và không có hạn chế về thiết kế hình học của mục tiêu phún xạ để đảm bảo tính đồng nhất của lớp phủ; Lớp màng không gặp vấn đề về các hạt giọt: hầu hết các kim loại, hợp kim và vật liệu gốm đều có thể được sử dụng làm vật liệu mục tiêu; Bằng phương pháp phún xạ DC hoặc RF, có thể tạo ra các lớp phủ kim loại hoặc hợp kim nguyên chất với tỷ lệ chính xác và ổn định, cũng như các màng phản ứng kim loại có sự tham gia của khí để đáp ứng các yêu cầu đa dạng và độ chính xác cao của màng. Các thông số quy trình điển hình của phủ bằng phương pháp phún xạ là: áp suất làm việc là 0,1 Pa; điện áp mục tiêu là 300~700 V, và mật độ công suất mục tiêu là 1~36 W/cm2. Các đặc điểm cụ thể của phương pháp phún xạ là:

(1) Tốc độ lắng đọng cao. Do sử dụng điện cực, có thể thu được dòng ion bắn phá mục tiêu rất lớn, do đó tốc độ khắc bằng phương pháp bắn phá trên bề mặt mục tiêu và tốc độ lắng đọng màng trên bề mặt chất nền đều cao.

(2) Hiệu suất năng lượng cao. Xác suất va chạm giữa các electron năng lượng thấp và các nguyên tử khí cao, do đó tỷ lệ ion hóa khí tăng lên đáng kể. Tương ứng, trở kháng của khí phóng điện (hoặc plasma) giảm đi đáng kể. Do đó, so với phương pháp phún xạ hai cực DC, ngay cả khi áp suất làm việc giảm từ 1~10Pa xuống 10-2~10-1Pa, điện áp phún xạ giảm từ vài nghìn vôn xuống hàng trăm vôn, và hiệu suất phún xạ và tốc độ lắng đọng tăng lên nhiều bậc.

(3) Phun xạ năng lượng thấp. Do điện áp catốt thấp được áp dụng cho mục tiêu, plasma bị giữ lại trong không gian gần catốt bởi từ trường, ngăn cản sự va chạm của các hạt mang điện năng lượng cao vào phía bên của chất nền. Do đó, mức độ hư hại do sự bắn phá của các hạt mang điện vào chất nền như các thiết bị bán dẫn thấp hơn so với các phương pháp phun xạ khác.

–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa.