மற்ற பூச்சு தொழில்நுட்பங்களுடன் ஒப்பிடுகையில், ஸ்பட்டரிங் பூச்சு பின்வரும் குறிப்பிடத்தக்க அம்சங்களைக் கொண்டுள்ளது: செயல்பாட்டு அளவுருக்கள் ஒரு பெரிய டைனமிக் சரிசெய்தல் வரம்பைக் கொண்டுள்ளன, பூச்சு படியும் வேகம் மற்றும் தடிமன் (பூச்சுப் பகுதியின் நிலை) ஆகியவற்றைக் கட்டுப்படுத்துவது எளிது, மேலும் பூச்சின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக ஸ்பட்டரிங் இலக்கின் வடிவவியலில் எந்த வடிவமைப்பு கட்டுப்பாடுகளும் இல்லை; படல அடுக்கில் துளித் துகள்கள் பிரச்சனை இல்லை: கிட்டத்தட்ட அனைத்து உலோகங்கள், உலோகக் கலவைகள் மற்றும் பீங்கான் பொருட்களையும் இலக்குப் பொருட்களாக உருவாக்க முடியும்; DC அல்லது RF ஸ்பட்டரிங் மூலம், படலங்களின் பல்வேறு மற்றும் உயர்-துல்லியத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, துல்லியமான மற்றும் நிலையான விகிதாச்சாரங்களைக் கொண்ட தூய உலோகம் அல்லது உலோகக் கலவைப் பூச்சுகளையும், வாயுப் பங்களிப்புடன் கூடிய உலோக வினைப் படலங்களையும் உருவாக்க முடியும். ஸ்பட்டரிங் பூச்சின் பொதுவான செயல்முறை அளவுருக்கள்: செயல்பாட்டு அழுத்தம் 01Pa; இலக்கு மின்னழுத்தம் 300~700V, மற்றும் இலக்கு சக்தி அடர்த்தி 1~36W/cm2. ஸ்பட்டரிங்கின் குறிப்பிட்ட பண்புகள்:
(1) அதிகப் படிவு விகிதம். மின்முனைகளைப் பயன்படுத்துவதால், மிக அதிக இலக்கு குண்டுவீச்சு அயனி மின்னோட்டங்களைப் பெற முடியும், எனவே இலக்கு மேற்பரப்பில் சிதறல் அரிப்பு விகிதமும், அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் படலப் படிவு விகிதமும் அதிகமாக இருக்கும்.
(2) அதிக ஆற்றல் திறன். குறைந்த ஆற்றல் எலக்ட்ரான்களுக்கும் வாயு அணுக்களுக்கும் இடையிலான மோதலின் நிகழ்தகவு அதிகமாக இருப்பதால், வாயு அயனியாக்க விகிதம் பெரிதும் அதிகரிக்கிறது. அதற்கேற்ப, வெளியேற்ற வாயுவின் (அல்லது பிளாஸ்மாவின்) மின்மறுப்பு பெரிதும் குறைக்கப்படுகிறது. எனவே, DC இரு-முனை சிதறலுடன் ஒப்பிடும்போது, வேலை செய்யும் அழுத்தத்தை 1~10Pa இலிருந்து 10-2~10-1Pa ஆகக் குறைத்தாலும், சிதறல் மின்னழுத்தம் பல ஆயிரம் வோல்ட்டுகளிலிருந்து நூற்றுக்கணக்கான வோல்ட்டுகளாகக் குறைக்கப்படுகிறது, மேலும் சிதறல் திறன் மற்றும் படிவு விகிதம் பல மடங்கு அதிகரிக்கிறது.
(3) குறைந்த ஆற்றல் சிதறல். இலக்கிற்குப் பயன்படுத்தப்படும் குறைந்த எதிர்மின்முனை மின்னழுத்தத்தின் காரணமாக, பிளாஸ்மா எதிர்மின்முனைக்கு அருகிலுள்ள இடத்தில் ஒரு காந்தப்புலத்தால் பிணைக்கப்படுகிறது, இது அதிக ஆற்றல் கொண்ட மின்னூட்டப்பட்ட துகள்கள் அடி மூலக்கூறின் பக்கத்தில் மோதுவதைத் தடுக்கிறது. எனவே, குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் போன்ற அடி மூலக்கூறுகளில் மின்னூட்டப்பட்ட துகள்களின் தாக்குதலால் ஏற்படும் சேதத்தின் அளவு மற்ற சிதறல் முறைகளை விட குறைவாக உள்ளது.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா.
பதிவிட்ட நேரம்: செப்-08-2023