Ha ho bapisoa le mahlale a mang a ho koahela, ho koahela ka sputtering ho na le likarolo tse latelang tsa bohlokoa: liparamente tse sebetsang li na le mefuta e meholo ea phetoho e matla, lebelo la ho beha le botenya ba ho koahela (boemo ba sebaka sa ho koahela) li bonolo ho li laola, 'me ha ho na lithibelo tsa moralo ho geometry ea sepheo sa ho sputtering ho netefatsa ho tšoana ha seaparo; Lera la filimi ha le na bothata ba likaroloana tsa marotholi: hoo e batlang e le litšepe tsohle, li-alloy le thepa ea ceramic li ka etsoa thepa ea sepheo; Ka ho sputtering ea DC kapa RF, liparamente tsa tšepe e hloekileng kapa tsa alloy tse nang le litekanyo tse nepahetseng le tse sa fetoheng le lifilimi tsa karabelo ea tšepe tse nang le karolo ea khase li ka hlahisoa ho fihlela litlhoko tse fapaneng le tse nepahetseng tsa lifilimi. Liparamente tse tloaelehileng tsa ts'ebetso ea ho koahela ka sputtering ke: khatello ea ho sebetsa ke 01Pa; Voltage e reretsoeng ke 300~700V, 'me matla a sepheo ke 1~36W/cm2. Litšobotsi tse ikhethang tsa ho sputtering ke:
(1) Sekgahla se phahameng sa ho beoa ha thepa. Ka lebaka la tshebediso ya di-electrode, maqhubu a mangata haholo a di-ion a ka fumanwa, kahoo sekgahla sa ho beoa ha thepa hodima bokahodimo ba thepa le sekgahla sa ho beoa ha filimi hodima bokahodimo ba thepa di hodimo.
(2) Bokgoni bo phahameng ba matla. Monyetla wa ho thulana pakeng tsa dielektrone tse nang le matla a tlase le diathomo tsa khase o hodimo, kahoo sekgahla sa ionization ya khase se eketseha haholo. Ka ho tshwanang, impedance ya kgase e ntshang (kapa plasma) e fokotsehile haholo. Ka hona, ha e bapiswa le ho qhalana ha DC ka dipalo tse pedi, leha kgatello ya mosebetsi e fokotsehile ho tloha ho 1~10Pa ho ya ho 10-2~10-1Pa, motlakase wa ho qhalana o fokotsehile ho tloha ho di-volt tse dikete tse mmalwa ho ya ho di-volt tse makgolo, mme bokgoni ba ho qhalana le sekgahla sa ho qhalana di eketseha ka ditaelo tsa boholo.
(3) Ho qhalana ha matla a tlase. Ka lebaka la motlakase o tlase oa cathode o sebelisoang ho sepheo, plasma e tlangwa sebakeng se haufi le cathode ke matla a makenete, a thibelang ho ata ha likaroloana tse nang le matla a mangata lehlakoreng la substrate. Ka hona, tekanyo ea tšenyo e bakoang ke ho phatloha ha likaroloana tse nang le matla ho substrate tse kang lisebelisoa tsa semiconductor e tlase ho feta ea mekhoa e meng ea ho qhalana.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua.
Nako ea poso: Loetse-08-2023