Dibandhingake karo teknologi pelapisan liyane, pelapisan sputtering nduweni fitur penting ing ngisor iki: parameter kerja nduweni rentang penyesuaian dinamis sing gedhe, kecepatan lan kekandelan deposisi pelapisan (kahanan area pelapisan) gampang dikontrol, lan ora ana watesan desain ing geometri target sputtering kanggo njamin keseragaman pelapisan; Lapisan film ora duwe masalah partikel tetesan: meh kabeh logam, paduan, lan bahan keramik bisa digawe dadi bahan target; Kanthi sputtering DC utawa RF, lapisan logam utawa paduan murni kanthi proporsi sing tepat lan konstan lan film reaksi logam kanthi partisipasi gas bisa digawe kanggo nyukupi syarat film sing maneka warna lan presisi dhuwur. Parameter proses khas pelapisan sputtering yaiku: tekanan kerja yaiku 01Pa; Tegangan target yaiku 300 ~ 700V, lan kapadhetan daya target yaiku 1 ~ 36W / cm2. Karakteristik khusus sputtering yaiku:
(1) Laju deposisi sing dhuwur. Amarga panggunaan elektroda, arus ion bombardment target sing gedhe banget bisa dipikolehi, saengga laju etsa sputtering ing permukaan target lan laju deposisi film ing permukaan substrat dhuwur.
(2) Efisiensi daya dhuwur. Kemungkinan tabrakan antarane elektron energi rendah lan atom gas dhuwur, mula laju ionisasi gas mundhak banget. Salaras karo iku, impedansi gas sing metu (utawa plasma) uga mudhun banget. Mulane, dibandhingake karo sputtering rong kutub DC, sanajan tekanan kerja dikurangi saka 1 ~ 10 Pa dadi 10-2 ~ 10-1 Pa, voltase sputtering mudhun saka pirang-pirang ewu volt dadi atusan volt, lan efisiensi sputtering lan laju deposisi mundhak kanthi urutan gedhene.
(3) Sputtering energi rendah. Amarga voltase katoda rendah sing ditrapake ing target, plasma kaiket ing ruang cedhak katoda dening medan magnet, sing nyegah kedadeyan partikel bermuatan energi tinggi menyang sisih substrat. Mulane, tingkat kerusakan sing disebabake dening pemboman partikel bermuatan menyang substrat kayata piranti semikonduktor luwih murah tinimbang metode sputtering liyane.
-Artikel iki diterbitake deningprodusen mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua.
Wektu kiriman: 08-Sep-2023