Diğer kaplama teknolojileriyle karşılaştırıldığında, püskürtme kaplamanın aşağıdaki önemli özellikleri vardır: çalışma parametreleri geniş bir dinamik ayar aralığına sahiptir, kaplama biriktirme hızı ve kalınlığı (kaplama alanının durumu) kolayca kontrol edilebilir ve kaplamanın homojenliğini sağlamak için püskürtme hedefinin geometrisinde tasarım kısıtlamaları yoktur; film tabakasında damlacık parçacıkları sorunu yoktur: neredeyse tüm metaller, alaşımlar ve seramik malzemeler hedef malzeme haline getirilebilir; DC veya RF püskürtme ile, hassas ve sabit oranlarda saf metal veya alaşım kaplamalar ve gaz katılımıyla metal reaksiyon filmleri üretilebilir, böylece filmlerin çeşitli ve yüksek hassasiyet gereksinimleri karşılanabilir. Püskürtme kaplamanın tipik işlem parametreleri şunlardır: çalışma basıncı 0,1 Pa; hedef voltajı 300~700 V ve hedef güç yoğunluğu 1~36 W/cm². Püskürtmenin spesifik özellikleri şunlardır:
(1) Yüksek biriktirme hızı. Elektrotların kullanımı sayesinde çok büyük hedef bombardıman iyon akımları elde edilebildiğinden, hedef yüzeyindeki püskürtme aşındırma hızı ve alt tabaka yüzeyindeki film biriktirme hızı yüksektir.
(2) Yüksek güç verimliliği. Düşük enerjili elektronlar ile gaz atomları arasındaki çarpışma olasılığı yüksektir, bu nedenle gaz iyonlaşma oranı büyük ölçüde artar. Buna karşılık, deşarj gazının (veya plazmanın) empedansı büyük ölçüde azalır. Bu nedenle, DC iki kutuplu püskürtme ile karşılaştırıldığında, çalışma basıncı 1~10 Pa'dan 10-2~10-1 Pa'ya düşürülse bile, püskürtme voltajı birkaç bin volttan yüzlerce volta düşürülür ve püskürtme verimliliği ve biriktirme oranı kat kat artar.
(3) Düşük enerjili püskürtme. Hedefe uygulanan düşük katot voltajı nedeniyle, plazma katotun yakınındaki alanda manyetik alan tarafından tutulur ve bu da yüksek enerjili yüklü parçacıkların alt tabakanın yan tarafına çarpmasını engeller. Bu nedenle, yarı iletken cihazlar gibi alt tabakalara yüklü parçacıkların bombardımanından kaynaklanan hasar derecesi, diğer püskürtme yöntemlerine göre daha düşüktür.
Bu makale şu kuruluş tarafından yayınlanmıştır:vakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua.
Yayın tarihi: 08 Eylül 2023