Makhalidwe a magnetron sputtering sputtering chaputala 1

Poyerekeza ndi ukadaulo wina wopaka utoto, utoto wopaka utoto uli ndi zinthu zofunika izi: magawo ogwirira ntchito ali ndi kusintha kwakukulu kwamphamvu, liwiro la kuyika utoto ndi makulidwe (mkhalidwe wa malo opaka utoto) ndizosavuta kuwongolera, ndipo palibe zoletsa pa kapangidwe ka mawonekedwe a cholembera chopaka utoto kuti zitsimikizire kufanana kwa utoto; Gawo la filimuyi lilibe vuto la tinthu tating'onoting'ono ta madontho: pafupifupi zitsulo zonse, ma alloys ndi zida za ceramic zitha kupangidwa kukhala zida zolunjika; Pogwiritsa ntchito utoto wa DC kapena RF, utoto woyera wachitsulo kapena wa alloy wokhala ndi magawo olondola komanso osasinthasintha komanso mafilimu ochitapo kanthu achitsulo okhala ndi gawo la mpweya amatha kupangidwa kuti akwaniritse zofunikira zosiyanasiyana komanso zolondola kwambiri za mafilimu. Magawo wamba a njira yopaka utoto wopaka utoto ndi awa: kuthamanga kogwira ntchito ndi 01Pa; Voltage yolunjika ndi 300~700V, ndipo mphamvu yolunjika ndi 1~36W/cm2. Makhalidwe enieni a utoto ndi awa:

(1) Kuchuluka kwa malo oikamo zinthu. Chifukwa cha kugwiritsa ntchito ma electrode, ma ion currents akuluakulu kwambiri amatha kupezeka, kotero kuchuluka kwa malo oikamo zinthu pamalo oikamo zinthu ndi kuchuluka kwa malo oikamo zinthu pa malo oikamo zinthu ndi kwakukulu.

(2) Mphamvu yogwira ntchito kwambiri. Kuthekera kwa kugundana pakati pa ma elekitironi opanda mphamvu zambiri ndi ma atomu a gasi n'kokwera, kotero kuchuluka kwa ionization ya gasi kumawonjezeka kwambiri. Mofananamo, kuletsa kwa mpweya wotulutsa (kapena plasma) kumachepa kwambiri. Chifukwa chake, poyerekeza ndi kupopera kwa DC two-pole, ngakhale kuthamanga kwa ntchito kuchepetsedwa kuchokera pa 1 ~ 10Pa mpaka 10-2 ~ 10-1Pa, mphamvu yopopera imachepetsedwa kuchokera pa ma volts zikwi zingapo mpaka ma volts mazana ambiri, ndipo mphamvu yopopera ndi kuchuluka kwa kupopera kumawonjezeka ndi kuchuluka kwakukulu.

(3) Kutulutsa mphamvu zochepa. Chifukwa cha mphamvu yochepa ya cathode yomwe imagwiritsidwa ntchito pa cholinga, plasma imamangidwa pamalo omwe ali pafupi ndi cathode ndi mphamvu yamaginito, zomwe zimaletsa kupezeka kwa tinthu tamphamvu kwambiri m'mbali mwa substrate. Chifukwa chake, kuchuluka kwa kuwonongeka komwe kumachitika chifukwa cha kuphulika kwa tinthu tamphamvu ku substrate monga zida za semiconductor ndi kotsika kuposa njira zina zotulutsira madzi.

– Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina ophikira vacuumGuangdong Zhenhua.