इतर कोटिंग तंत्रज्ञानाच्या तुलनेत, स्पटरिंग कोटिंगमध्ये खालील महत्त्वपूर्ण वैशिष्ट्ये आहेत: कार्यरत पॅरामीटर्समध्ये मोठ्या प्रमाणात गतिशील समायोजन श्रेणी असते, कोटिंग जमा होण्याचा वेग आणि जाडी (कोटिंग क्षेत्राची स्थिती) नियंत्रित करणे सोपे असते, आणि कोटिंगची एकसमानता सुनिश्चित करण्यासाठी स्पटरिंग टार्गेटच्या भूमितीवर कोणतेही डिझाइन निर्बंध नसतात; फिल्मच्या थरात थेंबांच्या कणांची समस्या नसते: जवळजवळ सर्व धातू, मिश्रधातू आणि सिरॅमिक पदार्थ टार्गेट मटेरियल म्हणून वापरले जाऊ शकतात; डीसी किंवा आरएफ स्पटरिंगद्वारे, फिल्म्सच्या विविध आणि उच्च-सुस्पष्टतेच्या गरजा पूर्ण करण्यासाठी अचूक आणि स्थिर प्रमाणात शुद्ध धातू किंवा मिश्रधातूंचे कोटिंग्स आणि वायूच्या सहभागाने तयार होणाऱ्या धातूंच्या प्रतिक्रिया फिल्म्स तयार केल्या जाऊ शकतात. स्पटरिंग कोटिंगचे ठराविक प्रक्रिया पॅरामीटर्स खालीलप्रमाणे आहेत: कार्यरत दाब 0.1 Pa असतो; टार्गेट व्होल्टेज 300~700 V असतो, आणि टार्गेट पॉवर डेन्सिटी 1~36 W/cm2 असते. स्पटरिंगची विशिष्ट वैशिष्ट्ये खालीलप्रमाणे आहेत:
(1) उच्च निक्षेपण दर. इलेक्ट्रोडच्या वापरामुळे, खूप मोठे लक्ष्य बॉम्बार्डमेंट आयन प्रवाह मिळवता येतात, त्यामुळे लक्ष्याच्या पृष्ठभागावरील स्पटरिंग एचिंग दर आणि सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावरील फिल्म निक्षेपण दर उच्च असतो.
(2) उच्च ऊर्जा कार्यक्षमता. कमी-ऊर्जेच्या इलेक्ट्रॉन आणि वायूच्या अणूंमध्ये टक्कर होण्याची शक्यता जास्त असते, त्यामुळे वायूच्या आयनीकरणाचा दर मोठ्या प्रमाणात वाढतो. त्यानुसार, डिस्चार्ज वायूचा (किंवा प्लाझ्माचा) इम्पेडन्स मोठ्या प्रमाणात कमी होतो. त्यामुळे, डीसी टू-पोल स्पटरिंगच्या तुलनेत, जरी कार्यरत दाब 1~10Pa वरून 10-2~10-1Pa पर्यंत कमी केला, तरी स्पटरिंग व्होल्टेज काही हजार व्होल्टवरून शेकडो व्होल्टपर्यंत कमी होतो आणि स्पटरिंग कार्यक्षमता व निक्षेपण दर अनेक पटींनी वाढतात.
(3) कमी-ऊर्जा स्पटरिंग. टार्गेटला लावलेल्या कमी कॅथोड व्होल्टेजमुळे, प्लाझ्मा चुंबकीय क्षेत्राद्वारे कॅथोडजवळील जागेत बांधला जातो, ज्यामुळे उच्च-ऊर्जा चार्ज्ड कणांचा सबस्ट्रेटच्या बाजूवर होणारा आघात रोखला जातो. त्यामुळे, सेमीकंडक्टर उपकरणांसारख्या सबस्ट्रेटवर चार्ज्ड कणांच्या आघातामुळे होणाऱ्या नुकसानीचे प्रमाण इतर स्पटरिंग पद्धतींपेक्षा कमी असते.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ.
पोस्ट करण्याची वेळ: ०८-सप्टेंबर-२०२३