Ki te whakaritea ki ētahi atu hangarau paninga, ko ngā āhuatanga nui o te paninga mirumiru e whai ake nei: he whānui te whānuitanga whakarerekētanga hihiri o ngā tawhā mahi, he ngāwari te whakahaere i te tere me te matotoru o te paninga (te āhua o te rohe paninga), ā, kāore he here hoahoa mō te āhua o te ūnga mirumiru hei whakarite i te ōritetanga o te paninga; Kāore he raruraru o ngā matūriki maturuturu i te paparanga kiriata: tata ki ngā konganuku katoa, ngā koranu me ngā rauemi uku ka taea te hanga hei rauemi ūnga; Mā te mirumiru DC, RF rānei, ka taea te whakaputa i ngā paninga konganuku parakore, koranu rānei me ngā ōwehenga tika me te pumau me ngā kiriata tauhohenga konganuku me te whai wāhi hau hei whakatutuki i ngā whakaritenga kanorau me te tino tika o ngā kiriata. Ko ngā tawhā tukanga noa o te paninga mirumiru ko: ko te pēhanga mahi ko 01Pa; Ko te ngaohiko ūnga ko 300~700V, ā, ko te mātotoru mana ūnga ko 1~36W/cm2. Ko ngā āhuatanga motuhake o te mirumiru ko:
(1) Te tere whakatakotoranga teitei. Nā te whakamahinga o ngā irahiko, ka taea te whiwhi i ngā iahiko katote pupuhi nui rawa atu ki te ūnga, nō reira he teitei te tere whakairo i runga i te mata ūnga me te tere whakatakotoranga kiriata ki runga i te mata o te papa.
(2) Te kaha o te mana. He nui te tūponotanga o te tukinga i waenga i ngā irahiko iti-pūngao me ngā ngota hau, nō reira ka tino piki ake te tere o te ionization hau. Nō reira, ka tino heke te aukati o te hau tuku (te plasma rānei). Nō reira, ki te whakatauritea ki te pupuhi rua-pou DC, ahakoa ka whakaitihia te pēhanga mahi mai i te 1~10Pa ki te 10-2~10-1Pa, ka whakaitihia te ngaohiko pupuhi mai i ngā mano volts ki ngā rau volts, ā, ka piki ake te kaha o te pupuhi me te tere whakatakotoranga mā te nui o te rahi.
(3) Te pupuhi iti-pūngao. Nā te iti o te ngaohiko katote e pā ana ki te ūnga, ka herea te plasma i roto i te wāhi e tata ana ki te katote e te papa aukume, e aukati ana i te taenga mai o ngā matūriki utu nui-pūngao ki te taha o te papa. Nō reira, ko te nui o te kino i puta mai i te pupuhi o ngā matūriki utu ki ngā papa pēnei i ngā taputapu semiconductor he iti ake i ērā atu tikanga pupuhi.
–Nā tekaihanga mīhini paninga korehauGuangdong Zhenhua.
Wā tuku: Hepetema-08-2023