ఇతర కోటింగ్ టెక్నాలజీలతో పోలిస్తే, స్పుటరింగ్ కోటింగ్కు ఈ క్రింది ముఖ్యమైన లక్షణాలు ఉన్నాయి: పని చేసే పారామితులకు పెద్ద డైనమిక్ సర్దుబాటు పరిధి ఉంటుంది, కోటింగ్ డిపాజిషన్ వేగం మరియు మందం (కోటింగ్ ప్రాంతం యొక్క స్థితి) నియంత్రించడం సులభం, మరియు కోటింగ్ యొక్క ఏకరూపతను నిర్ధారించడానికి స్పుటరింగ్ టార్గెట్ యొక్క జ్యామితిపై ఎటువంటి డిజైన్ పరిమితులు లేవు; ఫిల్మ్ పొరలో బిందువుల కణాల సమస్య ఉండదు: దాదాపు అన్ని లోహాలు, మిశ్రమాలు మరియు సిరామిక్ పదార్థాలను టార్గెట్ పదార్థాలుగా తయారు చేయవచ్చు; DC లేదా RF స్పుటరింగ్ ద్వారా, ఫిల్మ్ల యొక్క విభిన్న మరియు అధిక-ఖచ్చితత్వ అవసరాలను తీర్చడానికి, ఖచ్చితమైన మరియు స్థిరమైన నిష్పత్తులతో స్వచ్ఛమైన లోహం లేదా మిశ్రమ లోహ కోటింగ్లను మరియు వాయువు భాగస్వామ్యంతో లోహ రియాక్షన్ ఫిల్మ్లను ఉత్పత్తి చేయవచ్చు. స్పుటరింగ్ కోటింగ్ యొక్క సాధారణ ప్రక్రియ పారామితులు: పని చేసే పీడనం 0.1Pa; టార్గెట్ వోల్టేజ్ 300~700V, మరియు టార్గెట్ పవర్ డెన్సిటీ 1~36W/cm². స్పుటరింగ్ యొక్క నిర్దిష్ట లక్షణాలు:
(1) అధిక నిక్షేపణ రేటు. ఎలక్ట్రోడ్ల వాడకం వల్ల, చాలా పెద్ద టార్గెట్ బాంబార్డ్మెంట్ అయాన్ కరెంట్లను పొందవచ్చు, కాబట్టి టార్గెట్ ఉపరితలంపై స్పుటరింగ్ ఎచింగ్ రేటు మరియు సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై ఫిల్మ్ నిక్షేపణ రేటు ఎక్కువగా ఉంటాయి.
(2) అధిక శక్తి సామర్థ్యం. తక్కువ-శక్తి ఎలక్ట్రాన్లు మరియు వాయు అణువుల మధ్య ఢీకొనే సంభావ్యత ఎక్కువగా ఉంటుంది, కాబట్టి వాయువు అయనీకరణ రేటు బాగా పెరుగుతుంది. తదనుగుణంగా, డిశ్చార్జ్ వాయువు (లేదా ప్లాస్మా) యొక్క ఇంపెడెన్స్ బాగా తగ్గుతుంది. అందువల్ల, DC టూ-పోల్ స్పుటరింగ్తో పోలిస్తే, పని చేసే పీడనాన్ని 1~10Pa నుండి 10-2~10-1Pa కు తగ్గించినప్పటికీ, స్పుటరింగ్ వోల్టేజ్ కొన్ని వేల వోల్టుల నుండి వందల వోల్టులకు తగ్గుతుంది, మరియు స్పుటరింగ్ సామర్థ్యం మరియు డిపాజిషన్ రేటు అనేక రెట్లు పెరుగుతాయి.
(3) తక్కువ-శక్తి స్పుటరింగ్. టార్గెట్కు వర్తించే తక్కువ కాథోడ్ వోల్టేజ్ కారణంగా, ప్లాస్మా కాథోడ్ సమీపంలోని ప్రదేశంలో అయస్కాంత క్షేత్రం ద్వారా బంధించబడుతుంది, ఇది అధిక-శక్తి చార్జ్డ్ కణాలు సబ్స్ట్రేట్ వైపుకు తాకడాన్ని నిరోధిస్తుంది. అందువల్ల, సెమీకండక్టర్ పరికరాల వంటి సబ్స్ట్రేట్లకు చార్జ్డ్ కణాల తాకిడి వల్ల కలిగే నష్టం ఇతర స్పుటరింగ్ పద్ధతుల కంటే తక్కువగా ఉంటుంది.
–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా.
పోస్ట్ చేసిన సమయం: సెప్టెంబర్-08-2023