Дар муқоиса бо дигар технологияҳои рӯйпӯшкунӣ, рӯйпӯшкунии пошидани маводи мухаддир хусусиятҳои муҳими зеринро дорад: параметрҳои корӣ дорои диапазони калони танзими динамикӣ мебошанд, суръати ҷойгиршавии рӯйпӯш ва ғафсии рӯйпӯш (ҳолати майдони рӯйпӯшкунӣ) ба осонӣ назорат карда мешаванд ва барои таъмини якрангии рӯйпӯшкунӣ ягон маҳдудияти тарроҳӣ дар геометрияи ҳадафи пошидани маводи мухаддир вуҷуд надорад; Қабати плёнка мушкили зарраҳои қатрагӣ надорад: қариб ҳамаи металлҳо, хӯлаҳо ва маводҳои сафолиро метавон ба маводҳои ҳадафӣ табдил дод; Бо роҳи пошидани маводи ҷараёни доимӣ ё радиореаксияи ...
(1) Суръати баланди таҳшиншавӣ. Аз сабаби истифодаи электродҳо, ҷараёнҳои хеле калони ионҳои бомбаандозии ҳадафро ба даст овардан мумкин аст, аз ин рӯ суръати кандакории пошидан дар сатҳи ҳадаф ва суръати таҳшиншавии плёнка дар сатҳи субстрат баланд аст.
(2) Самаранокии баланди барқ. Эҳтимолияти бархӯрд байни электронҳои камэнергия ва атомҳои газ баланд аст, аз ин рӯ суръати ионизатсияи газ хеле зиёд мешавад. Мувофиқан, импеданси гази холӣ (ё плазма) хеле кам мешавад. Аз ин рӯ, дар муқоиса бо пошидани дуқутбаи ҷараёни доимӣ, ҳатто агар фишори корӣ аз 1 ~ 10Па то 10-2 ~ 10-1Па кам карда шавад ҳам, шиддати пошидани аз чанд ҳазор волт то садҳо волт кам мешавад ва самаранокии пошидани он ва суръати таҳшиншавӣ ба таври назаррас меафзояд.
(3) Пошидани энергияи кам. Аз сабаби шиддати пасти катод, ки ба ҳадаф татбиқ мешавад, плазма дар фазои наздики катод бо майдони магнитӣ пайваст мешавад, ки пайдоиши зарраҳои зарядноки энергияи баландро ба паҳлӯи субстрат бозмедорад. Аз ин рӯ, дараҷаи зараре, ки аз бомбаборони зарраҳои заряднок ба субстратҳо, ба монанди дастгоҳҳои нимноқилӣ, ба вуҷуд меояд, нисбат ба дигар усулҳои пошидани энергия пасттар аст.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа.
Вақти нашр: 08 сентябри соли 2023