የማግኔትሮን ስፕተርቲንግ ሽፋን ገጽታዎች ምዕራፎች 1

ከሌሎች የሽፋን ቴክኖሎጂዎች ጋር ሲነጻጸር፣ የስፐተር ሽፋን የሚከተሉት ጉልህ ባህሪያት አሉት፡ የስራ መለኪያዎች ትልቅ ተለዋዋጭ የማስተካከያ ክልል አላቸው፣ የሽፋን ማስቀመጫ ፍጥነት እና ውፍረት (የሽፋን ቦታ ሁኔታ) ለመቆጣጠር ቀላል ናቸው፣ እና የሽፋን ወጥነትን ለማረጋገጥ የስፐተር ዒላማው ጂኦሜትሪ ላይ ምንም አይነት የዲዛይን ገደቦች የሉም፤ የፊልም ንብርብር የጠብታ ቅንጣቶች ችግር የለውም፡ ሁሉም ማለት ይቻላል ብረቶች፣ ቅይጥ እና የሴራሚክ ቁሳቁሶች ወደ ኢላማ ቁሳቁሶች ሊሠሩ ይችላሉ፤ በዲሲ ወይም በRF ስፐተርንግ፣ ትክክለኛ እና ቋሚ መጠን ያላቸው ንፁህ ብረት ወይም ቅይጥ ሽፋኖች እና የጋዝ ተሳትፎ ያላቸው የብረት ምላሽ ፊልሞች የፊልሞችን የተለያዩ እና ከፍተኛ ትክክለኛነት መስፈርቶችን ለማሟላት ሊፈጠሩ ይችላሉ። የስፐተር ሽፋን የተለመዱ የሂደት መለኪያዎች የሚከተሉት ናቸው፡ የስራ ግፊት 01Pa ነው፤ የታለመው ቮልቴጅ 300~700V ሲሆን የታለመው የኃይል ጥግግት 1~36W/cm2 ነው። የስፐተር ማድረጊያ ልዩ ባህሪያት፡

(1) ከፍተኛ የማጠራቀሚያ መጠን። በኤሌክትሮዶች አጠቃቀም ምክንያት፣ በጣም ትልቅ የዒላማ ቦምብ ፍንዳታ አዮን ጅረቶች ሊገኙ ይችላሉ፣ ስለዚህ በዒላማው ወለል ላይ የሚተነፍሰው የመቅረጽ መጠን እና በንጣፉ ወለል ላይ ያለው የፊልም ማስቀመጫ መጠን ከፍተኛ ነው።

(2) ከፍተኛ የኃይል ቆጣቢነት። ዝቅተኛ ኃይል ባላቸው ኤሌክትሮኖች እና በጋዝ አቶሞች መካከል የመጋጨት እድሉ ከፍተኛ ነው፣ ስለዚህ የጋዝ አዮኒዜሽን መጠን በእጅጉ ይጨምራል። በተመሳሳይ መልኩ፣ የፈሳሽ ጋዝ (ወይም ፕላዝማ) ኢምፔዳንስ በእጅጉ ይቀንሳል። ስለዚህ፣ ከዲሲ ባለ ሁለት ምሰሶ ስፒተርንግ ጋር ሲነጻጸር፣ የስራ ግፊቱ ከ1~10Pa ወደ 10-2~10-1Pa ቢቀንስም፣ የስፒተር ቮልቴጅ ከብዙ ሺህ ቮልት ወደ በመቶዎች የሚቆጠሩ ቮልት ይቀንሳል፣ እና የስፒተር ውጤታማነት እና የማስቀመጫ መጠን በመጠን ቅደም ተከተሎች ይጨምራል።

(3) ዝቅተኛ የኃይል ስፓትተር። በዒላማው ላይ በሚተገበረው ዝቅተኛ የካቶድ ቮልቴጅ ምክንያት፣ ፕላዝማው በካቶድ አቅራቢያ ባለው ቦታ ላይ በማግኔቲክ መስክ ታስሮ ከፍተኛ ኃይል ያላቸው የተጫኑ ቅንጣቶች ወደ ንጣፍ ጎን እንዳይደርሱ ይከላከላል። ስለዚህ፣ የተከሰሱ ቅንጣቶች እንደ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ባሉ ንጣፎች ላይ በሚሰነዘሩ ጥቃቶች የሚደርሰው የጉዳት መጠን ከሌሎች የስፓትተር ዘዴዎች ያነሰ ነው።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ።