បើប្រៀបធៀបជាមួយបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតផ្សេងទៀត ថ្នាំកូតបាញ់មានលក្ខណៈពិសេសសំខាន់ៗដូចខាងក្រោម៖ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រការងារមានជួរកែតម្រូវថាមវន្តធំ ល្បឿន និងកម្រាស់នៃការដាក់ថ្នាំកូត (ស្ថានភាពនៃផ្ទៃថ្នាំកូត) ងាយស្រួលគ្រប់គ្រង ហើយមិនមានការរឹតបន្តឹងការរចនាលើធរណីមាត្រនៃគោលដៅបាញ់ដើម្បីធានាបាននូវឯកសណ្ឋាននៃថ្នាំកូតនោះទេ។ ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តមិនមានបញ្ហានៃភាគល្អិតដំណក់ទឹកទេ៖ លោហៈ យ៉ាន់ស្ព័រ និងសម្ភារៈសេរ៉ាមិចស្ទើរតែទាំងអស់អាចត្រូវបានផលិតទៅជាសម្ភារៈគោលដៅ។ តាមរយៈការបាញ់ DC ឬ RF ថ្នាំកូតលោហៈ ឬយ៉ាន់ស្ព័រសុទ្ធដែលមានសមាមាត្រច្បាស់លាស់ និងថេរ និងខ្សែភាពយន្តប្រតិកម្មលោហៈដែលមានការចូលរួមពីឧស្ម័នអាចត្រូវបានបង្កើតឡើងដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការចម្រុះ និងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃខ្សែភាពយន្ត។ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការធម្មតានៃថ្នាំកូតបាញ់គឺ៖ សម្ពាធការងារគឺ 01Pa; វ៉ុលគោលដៅគឺ 300~700V ហើយដង់ស៊ីតេថាមពលគោលដៅគឺ 1~36W/cm2។ លក្ខណៈជាក់លាក់នៃការបាញ់គឺ៖
(1) អត្រាដាក់ខ្ពស់។ ដោយសារតែការប្រើប្រាស់អេឡិចត្រូត ចរន្តអ៊ីយ៉ុងបាញ់ប្រហារគោលដៅដ៏ធំអាចទទួលបាន ដូច្នេះអត្រាឆ្លាក់ស្ព្រាយលើផ្ទៃគោលដៅ និងអត្រាដាក់ខ្សែភាពយន្តលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមគឺខ្ពស់។
(2) ប្រសិទ្ធភាពថាមពលខ្ពស់។ ប្រូបាប៊ីលីតេនៃការប៉ះទង្គិចគ្នារវាងអេឡិចត្រុងថាមពលទាប និងអាតូមឧស្ម័នគឺខ្ពស់ ដូច្នេះអត្រាអ៊ីយ៉ូដឧស្ម័នកើនឡើងយ៉ាងខ្លាំង។ ដូចគ្នានេះដែរ ភាពធន់នៃឧស្ម័នបញ្ចេញ (ឬប្លាស្មា) ត្រូវបានកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំង។ ដូច្នេះ បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងការបាញ់ស្ព្រាយពីរប៉ូលរបស់ DC ទោះបីជាសម្ពាធការងារត្រូវបានកាត់បន្ថយពី 1~10Pa ដល់ 10-2~10-1Pa ក៏ដោយ វ៉ុលបាញ់ស្ព្រាយត្រូវបានកាត់បន្ថយពីវ៉ុលរាប់ពាន់វ៉ុលទៅរាប់រយវ៉ុល ហើយប្រសិទ្ធភាពបាញ់ស្ព្រាយ និងអត្រាដាក់ស្ព្រាយកើនឡើងជាលំដាប់។
(3) ការបាញ់ស្ព្រាយថាមពលទាប។ ដោយសារតែវ៉ុលកាតូតទាបដែលបានអនុវត្តទៅលើគោលដៅ ប្លាស្មាត្រូវបានចងនៅក្នុងលំហជិតកាតូតដោយដែនម៉ាញេទិក ដែលរារាំងការកើតឡើងនៃភាគល្អិតដែលមានបន្ទុកថាមពលខ្ពស់ទៅចំហៀងនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ ដូច្នេះ កម្រិតនៃការខូចខាតដែលបណ្តាលមកពីការបាញ់ផ្លោងនៃភាគល្អិតដែលមានបន្ទុកទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដូចជាឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រគឺទាបជាងវិធីសាស្ត្របាញ់ស្ព្រាយផ្សេងទៀត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែកញ្ញា-០៨-២០២៣