Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí mìíràn, ìbòrí ìbòrí ní àwọn ànímọ́ pàtàkì wọ̀nyí: àwọn pàrámítà iṣẹ́ ní ìwọ̀n àtúnṣe oníyípadà ńlá, iyàrá ìforúkọsílẹ̀ ìbòrí àti sisanra (ipò agbègbè ìbòrí) rọrùn láti ṣàkóso, kò sì sí àwọn ìdènà àpẹẹrẹ lórí gírómẹ́trì ti àfojúsùn ìbòrí láti rí i dájú pé ìbòrí náà bá ara mu; Fíìmù náà kò ní ìṣòro àwọn pàrámítà ìṣàn: ó fẹ́rẹ̀ẹ́ jẹ́ pé gbogbo àwọn irin, àwọn alloy àti àwọn ohun èlò seramiki ni a lè ṣe sí àwọn ohun èlò ìfojúsùn; Nípasẹ̀ ìbòrí DC tàbí RF, àwọn ìbòrí irin mímọ́ tàbí alloy pẹ̀lú ìwọ̀n pípé àti déédé àti àwọn fíìmù ìfèsì irin pẹ̀lú ìkópa gaasi ni a lè ṣẹ̀dá láti bá àwọn ìbéèrè onírúurú àti pípéye ti àwọn fíìmù mu. Àwọn pàrámítà ilana tí ó wọ́pọ̀ ti ìbòrí ìbòrí ìbòrí ìbòrí mu ni: titẹ iṣẹ́ jẹ́ 01Pa; Fóltéèjì ìfojúsùn jẹ́ 300~700V, àti ìwọ̀n agbára ìfojúsùn jẹ́ 1~36W/cm2. Àwọn ànímọ́ pàtó ti ìbòrí ìbòrí ni:
(1) Ìwọ̀n ìfipamọ́ gíga. Nítorí lílo àwọn elekitirodu, a lè rí àwọn ìṣàn ion ìbọn títóbi gan-an, nítorí náà ìwọ̀n ìfipamọ́ sputtering lórí ojú ibi tí a fẹ́ dé àti ìwọ̀n ìfipamọ́ fíìmù lórí ojú ilẹ̀ gíga.
(2) Agbara giga. Iseese lati kọlu laarin awọn elekitironi agbara kekere ati awọn atomu gaasi ...
(3) Ìfọ́sípò agbára kékeré. Nítorí pé fóltéèjì katódì kékeré tí a lò sí ibi tí a fẹ́ dé, a so plasma náà mọ́ àyè tí ó wà nítòsí katódì náà nípa lílo pápá mágnẹ́ẹ̀tì kan, èyí tí ó ń dí ìṣẹ̀lẹ̀ àwọn èròjà agbára gíga tí a fi agbára gíga ṣe sí ẹ̀gbẹ́ substrate náà lọ́wọ́. Nítorí náà, ìwọ̀n ìbàjẹ́ tí ìbọn àwọn èròjà tí a fi agbára kún sí àwọn substrate bíi àwọn ẹ̀rọ semiconductor bá fà kéré sí ti àwọn ọ̀nà ìfọ́sípò mìíràn.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹsàn-08-2023