Башка каптоо технологияларына салыштырмалуу, чачыратуучу каптоо төмөнкү маанилүү өзгөчөлүктөргө ээ: жумушчу параметрлердин чоң динамикалык жөндөө диапазону бар, каптоонун чөкмө ылдамдыгы жана калыңдыгы (каптоо аянтынын абалы) башкарууга оңой жана каптоонун бирдейлигин камсыз кылуу үчүн чачыратуучу бута геометриясына эч кандай долбоордук чектөөлөр жок; Плёнка катмарында тамчы бөлүкчөлөрүнүн көйгөйү жок: дээрлик бардык металлдар, эритмелер жана керамикалык материалдар максаттуу материалдарга айландырылышы мүмкүн; Туруктуу же радио жыштыктагы чачыратуучу каптоо аркылуу пленкалардын ар түрдүү жана жогорку тактыктагы талаптарын канааттандыруу үчүн так жана туруктуу пропорциядагы таза металл же эритме каптоолору жана газдын катышуусу менен металл реакция пленкалары түзүлүшү мүмкүн. Чачыратуучу каптоонун типтүү процесстик параметрлери: жумушчу басым 01Па; Максаттуу чыңалуу 300~700В, ал эми максаттуу кубаттуулуктун тыгыздыгы 1~36Вт/см2. Чачыратуунун өзгөчө мүнөздөмөлөрү:
(1) Жогорку чөкмө ылдамдыгы. Электроддорду колдонуунун аркасында абдан чоң бутага бомбалоо иондук агымдарын алууга болот, ошондуктан бута бетиндеги чачыранды чөкмө ылдамдыгы жана субстрат бетиндеги пленканын чөкмө ылдамдыгы жогору.
(2) Жогорку кубаттуулуктун натыйжалуулугу. Аз энергиялуу электрондор менен газ атомдорунун кагылышуу ыктымалдуулугу жогору, ошондуктан газдын иондоштуруу ылдамдыгы бир топ жогорулайт. Ошого жараша, разряддалган газдын (же плазманын) импедансы бир топ төмөндөйт. Ошондуктан, туруктуу токтун эки уюлдуу чачыратуусуна салыштырмалуу, жумушчу басым 1~10Падан 10-2~10-1Пага чейин төмөндөсө да, чачыратуу чыңалуусу бир нече миң вольттон жүздөгөн вольтко чейин төмөндөйт, ал эми чачыратуу натыйжалуулугу жана чөкмө ылдамдыгы бир топ жогорулайт.
(3) Аз энергиялуу чачыратуу. Бутага берилген төмөнкү катоддук чыңалуудан улам, плазма катоддун жанындагы мейкиндикте магнит талаасы менен байланып турат, ал жогорку энергиялуу заряддалган бөлүкчөлөрдүн субстраттын капталына түшүүсүнө тоскоол болот. Ошондуктан, заряддалган бөлүкчөлөрдүн субстраттарга, мисалы, жарым өткөргүч түзүлүштөргө бомбалоосунан келип чыккан зыяндын даражасы башка чачыратуу ыкмаларына караганда төмөн.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 8-сентябры