باشقا قاپلاش تېخنىكىلىرى بىلەن سېلىشتۇرغاندا، پۈركۈش قاپلاشنىڭ تۆۋەندىكى مۇھىم ئالاھىدىلىكلىرى بار: خىزمەت پارامېتىرلىرىنىڭ دىنامىك تەڭشەش دائىرىسى چوڭ، قاپلاشنىڭ چۆكۈش سۈرئىتى ۋە قېلىنلىقى (قاپلاش رايونىنىڭ ھالىتى) كونترول قىلىش ئاسان، ھەمدە قاپلاشنىڭ بىردەكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن پۈركۈش نىشانىنىڭ گېئومېتىرىيەسىگە لايىھە چەكلىمىسى يوق؛ پىلاستىنكا قەۋىتىدە تامچە زەررىچىلىرى مەسىلىسى يوق: دېگۈدەك بارلىق مېتاللار، قېتىشمىلار ۋە كېرامىكا ماتېرىياللارنى نىشان ماتېرىياللىرىغا ئايلاندۇرغىلى بولىدۇ؛ DC ياكى RF پۈركۈش ئارقىلىق، پىلاستىنكىلارنىڭ كۆپ خىل ۋە يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تەلىپىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن ئېنىق ۋە مۇقىم نىسبەتتىكى ساپ مېتال ياكى قېتىشما قاپلاش ۋە گاز قاتناشقان مېتال رېئاكسىيە پىلاستىنكىلىرىنى ھاسىل قىلغىلى بولىدۇ. پۈركۈش قاپلاشنىڭ ئادەتتىكى جەريان پارامېتىرلىرى: خىزمەت بېسىمى 01Pa؛ نىشان توك بېسىمى 300 ~ 700V، نىشان توك زىچلىقى 1 ~ 36W / cm2. پۈركۈشنىڭ ئۆزگىچە ئالاھىدىلىكلىرى:
(1) يۇقىرى چۆكمە نىسبىتى. ئېلېكترود ئىشلىتىش سەۋەبىدىن، نىشان بومباردىمان قىلىش ئىئون ئېقىمى ناھايىتى چوڭ بولىدۇ، شۇڭا نىشان يۈزىدىكى پۈركۈش سۈرئىتى ۋە ئاساسىي قەۋەت يۈزىدىكى پىلاستىنكا چۆكمە نىسبىتى يۇقىرى بولىدۇ.
(2) يۇقىرى ئېنېرگىيە ئۈنۈمى. تۆۋەن ئېنېرگىيەلىك ئېلېكترونلار بىلەن گاز ئاتوملىرىنىڭ سوقۇلۇش ئېھتىماللىقى يۇقىرى، شۇڭا گازنىڭ ئىئونلىشىش سۈرئىتى زور دەرىجىدە ئاشىدۇ. شۇنىڭغا ماس ھالدا، چىقىرىۋېتىلگەن گازنىڭ (ياكى پلازما) ئىمپېدانسى زور دەرىجىدە تۆۋەنلەيدۇ. شۇڭلاشقا، DC ئىككى قۇتۇپلۇق پۈركۈش بىلەن سېلىشتۇرغاندا، خىزمەت بېسىمى 1 ~ 10Pa دىن 10-2 ~ 10-1Pa غىچە تۆۋەنلىتىلسىمۇ، پۈركۈش توك بېسىمى بىر قانچە مىڭ ۋولتتىن يۈزلىگەن ۋولتقىچە تۆۋەنلىتىلىدۇ، پۈركۈش ئۈنۈمى ۋە چۆكۈش سۈرئىتى زور دەرىجىدە ئاشىدۇ.
(3) تۆۋەن ئېنېرگىيەلىك پۈركۈش. نىشانغا قوللىنىلغان تۆۋەن كاتود توك بېسىمى سەۋەبىدىن، پلازما كاتودقا يېقىن بوشلۇقتا ماگنىت مەيدانى بىلەن باغلىنىپ، يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك زەررىچىلەرنىڭ ئاساسىي تاختىنىڭ يېنىغا چۈشۈشىنى توسىدۇ. شۇڭا، زەررىچىلەرنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر قاتارلىق ئاساسىي تاختىلارغا بومباردىمان قىلىنىشىنىڭ كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان زىيىنى باشقا پۈركۈش ئۇسۇللىرىغا قارىغاندا تۆۋەن.
– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2023-يىلى 9-ئاينىڭ 8-كۈنى