Бусад бүрэх технологиудтай харьцуулахад цацалтын бүрхүүл нь дараах чухал шинж чанаруудтай: ажлын параметрүүд нь өргөн динамик тохируулгын хүрээтэй, бүрэх хурд болон зузаан (бүрэх хэсгийн төлөв байдал)-ыг хянах хялбар бөгөөд бүрэх жигд байдлыг хангахын тулд цацалтын байны геометрт дизайны хязгаарлалт байхгүй; Кино давхарга нь дуслын хэсгүүдийн асуудалгүй: бараг бүх металл, хайлш болон керамик материалыг зорилтот материал болгон хийж болно; DC эсвэл RF цацалтын тусламжтайгаар хальсны олон янзын, өндөр нарийвчлалтай шаардлагыг хангахын тулд нарийн, тогтмол харьцаатай цэвэр металл эсвэл хайлшийн бүрхүүл, хийн оролцоотой металлын урвалын хальс үүсгэж болно. Цацалтын бүрхүүлийн ердийн процессын параметрүүд нь: ажлын даралт нь 01Pa; зорилтот хүчдэл нь 300~700V, зорилтот чадлын нягтрал нь 1~36W/cm2. Цацалтын өвөрмөц шинж чанарууд нь:
(1) Өндөр тунадасжилтын хурд. Электрод ашигласны улмаас маш их хэмжээний байг бөмбөгдөлтийн ионы гүйдэл авах боломжтой тул байны гадаргуу дээр цацагдах сийлбэрийн хурд болон суурь гадаргуу дээр хальсан тунадасжилтын хурд өндөр байдаг.
(2) Өндөр эрчим хүчний үр ашиг. Бага энергитэй электронууд болон хийн атомуудын мөргөлдөх магадлал өндөр тул хийн ионжуулалтын хурд ихээхэн нэмэгддэг. Үүний дагуу ялгарах хийн (эсвэл плазмын) импеданс ихээхэн буурдаг. Тиймээс, тогтмол гүйдлийн хоёр туйлт цацалттай харьцуулахад ажлын даралтыг 1~10Па-аас 10-2~10-1Па болгон бууруулсан ч цацалтын хүчдэл хэдэн мянган вольтоос хэдэн зуун вольт болж буурч, цацалтын үр ашиг болон тунадасны хурд хэд дахин нэмэгддэг.
(3) Бага энергитэй цацалт. Байнд бага катодын хүчдэл хэрэглэснээс болж плазм нь катодын ойролцоох орон зайд соронзон оронгоор холбогддог бөгөөд энэ нь өндөр энергитэй цэнэгтэй бөөмсийг суурь хэсгийн хажууд тусахыг саатуулдаг. Тиймээс хагас дамжуулагч төхөөрөмж гэх мэт суурь хэсэгт цэнэгтэй бөөмсийг бөмбөгдөхөөс үүсэх хохирлын хэмжээ нь бусад цацалтын аргуудаас бага байдаг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 9-р сарын 8