Beýleki örtük tehnologiýalary bilen deňeşdirilende, tüýkürme örtügi aşakdaky möhüm aýratynlyklara eýedir: iş parametrleriniň uly dinamiki sazlaýyş diapazony bar, örtügiň çökdüriliş tizligi we galyňlygy (örtük meýdanynyň ýagdaýy) gözegçilik etmek aňsat, örtügiň birmeňzeşligini üpjün etmek üçin tüýdük nyşanynyň geometriýasynda dizaýn çäklendirmeleri ýok; Film gatlagynda damja bölejikleri meselesi ýok: ähli metallar, erginler we keramiki materiallar diýen ýaly maksatly materiallara ýasalyp bilner; DC ýa-da RF tüýdükleri bilen, takyk we hemişelik nisbatlar bilen arassa metal ýa-da garyndy örtükler we gazyň gatnaşmagynda metal reaksiýa filmleri filmleriň dürli we ýokary takyklyk talaplaryny kanagatlandyrmak üçin döredilip bilner. Tüýdük örtüginiň adaty proses parametrleri: iş basyşy 01Pa; Maksat naprýa 300eniýesi 300 ~ 700V, maksat güýji dykyzlygy 1 ~ 36W / cm2. Tüýkürmegiň aýratynlyklary:
(1) Depokary depozit derejesi. Elektrodlaryň ulanylmagy sebäpli gaty uly nyşana bombalanan ion akymlary alynyp bilner, şonuň üçin nyşanyň üstündäki tüýdükleriň dökülmegi we substratyň üstündäki filmiň depozit derejesi ýokarydyr.
(2) powerokary güýç netijeliligi. Pes energiýaly elektronlar bilen gaz atomlarynyň arasynda çaknyşmak ähtimallygy ýokary, şonuň üçin gazyň ionlaşma derejesi ep-esli ýokarlanýar. Degişlilikde, çykýan gazyň (ýa-da plazmanyň) päsgelçiligi ep-esli azalýar. Şol sebäpden, DC iki polýusly tüýdük bilen deňeşdirilende, iş basyşy 1 ~ 10Pa-dan 10-2 ~ 10-1Pa çenli azalsa-da, tüýdük naprýa .eniýesi birnäçe müň woltdan ýüzlerçe wolta çenli azalýar we ululyk buýruklary bilen tüýkürmegiň netijeliligi we depozit derejesi ýokarlanýar.
(3) Pes energiýa tüýkürmek. Maksada ulanylýan pes katod naprýa .eniýesi sebäpli, plazma katodyň golaýyndaky magnit meýdany bilen baglanyşdyrylýar, bu bolsa ýokary energiýa zarýadly bölejikleriň substratyň gapdalynda ýüze çykmagyny bökdeýär. Şonuň üçin zarýadly bölejikleriň ýarymgeçiriji enjamlar ýaly substratlara bombalanmagy netijesinde dörän zyýan derejesi beýleki tüýdük usullaryndan pesdir.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua.
Iş wagty: 08-2023-nji sentýabr