आरसीडब्ल्यू६००

या उपकरणांच्या मालिकेत मॅग्नेट्रॉन लक्ष्यांचा वापर करून कोटिंग मटेरियलचे नॅनोमीटर आकाराच्या कणांमध्ये रूपांतर केले जाते, जे थरांच्या पृष्ठभागावर पातळ फिल्म तयार करण्यासाठी जमा होतात. गुंडाळलेला फिल्म व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये ठेवला जातो. विद्युत चालित वळण संरचनेद्वारे, एक टोक फिल्म प्राप्त करते आणि दुसरे टोक फिल्म ठेवते. ते लक्ष्य क्षेत्रातून पुढे जात राहते आणि दाट फिल्म तयार करण्यासाठी लक्ष्य कण प्राप्त करते.
वैशिष्ट्यपूर्ण:

१. कमी तापमानाचा फिल्म तयार होणे. तापमानाचा फिल्मवर फारसा परिणाम होत नाही आणि त्यामुळे विकृती निर्माण होणार नाही. हे पीईटी, पीआय आणि इतर बेस मटेरियल कॉइल फिल्मसाठी योग्य आहे.
२. फिल्मची जाडी डिझाइन करता येते. प्रक्रिया समायोजनाद्वारे पातळ किंवा जाड कोटिंग्ज डिझाइन आणि जमा करता येतात.
३. बहु-लक्ष्य स्थान डिझाइन, लवचिक प्रक्रिया. संपूर्ण मशीन आठ लक्ष्यांनी सुसज्ज असू शकते, जे एकतर साधे धातू लक्ष्य किंवा कंपाऊंड आणि ऑक्साईड लक्ष्य म्हणून वापरले जाऊ शकते. ते एकल-स्तरीय फिल्म्स किंवा संमिश्र संरचनेसह बहु-स्तरीय फिल्म्स तयार करण्यासाठी वापरले जाऊ शकते. ही प्रक्रिया खूप लवचिक आहे.

या उपकरणांमध्ये इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक शील्डिंग फिल्म, फ्लेक्सिबल सर्किट बोर्ड कोटिंग, विविध डायलेक्ट्रिक फिल्म्स, मल्टी-लेयर एआर अँटीरिफ्लेक्शन फिल्म, एचआर हाय अँटीरिफ्लेक्शन फिल्म, कलर फिल्म इत्यादी तयार करता येतात. या उपकरणांमध्ये खूप विस्तृत अनुप्रयोग आहेत आणि सिंगल-लेयर फिल्म डिपॉझिशन एका वेळी फिल्म डिपॉझिशनद्वारे पूर्ण केले जाऊ शकते.
उपकरणे Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl इत्यादी साध्या धातूच्या लक्ष्यांचा किंवा SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO इत्यादी संयुक्त लक्ष्यांचा अवलंब करू शकतात.

हे उपकरण आकाराने लहान, रचनात्मक डिझाइनमध्ये कॉम्पॅक्ट, मजल्याच्या क्षेत्रफळात लहान, ऊर्जा वापरात कमी आणि समायोजनात लवचिक आहे. प्रक्रिया संशोधन आणि विकास किंवा लहान बॅच मोठ्या प्रमाणात उत्पादनासाठी हे अतिशय योग्य आहे.