Магнетрон ороомгийн бүрэх төхөөрөмж нь вакуум орчинд бүрэх материалыг хийн эсвэл ионы төлөвт шилжүүлэхийн тулд магнетрон цацах аргыг ашиглан ажлын хэсэгт байрлуулж нягт хальс үүсгэдэг бөгөөд ингэснээр гадаргуугийн төлөв байдлыг сайжруулах эсвэл функциональ эсвэл гоёл чимэглэлийн хальсны тодорхой онцгой гүйцэтгэлийг олж авдаг.
Тоног төхөөрөмж нь магнетрон цацалтын систем болон нарийн ороомгийн хяналтын системийг ашигладаг бөгөөд тогтмол хүчдэл болон тогтмол хурдны хяналтыг хэрэгжүүлэхийн тулд серво моторын хөтчийн хяналтын системээр тоноглогдсон.
1. Автомат хальс тэгшлэх системээр тоноглогдсон, хальс нь үрчлээгүй, ороомгийн чанар өндөр.
2. Тунадасжилтын хурдыг сайжруулахын тулд битүү гогцооны хяналтын системийг нэмсэн. Олон давхаргат диэлектрик хальсыг 1100 мм өргөнтэй PET ороомог дээр тасралтгүй бүрж болох бөгөөд давтагдах чадвар сайтай, тогтвортой процесстой.
3. Мембран ороомгийг ачиж буулгах, засвар үйлчилгээний байг солих ажлыг хөнгөвчлөхийн тулд ороомгийн систем болон байг хоёр үзүүрээс нь тус тус татаж болно.
Тоног төхөөрөмж нь өндөр түвшний автоматжуулалттай, тоног төхөөрөмжийн ажиллах байдлыг автоматаар хянадаг, алдааны дохиолол болон автомат хамгаалалтын функцтэй. Тоног төхөөрөмжийн ажиллагаа нь бага төвөгтэй.
Энэхүү тоног төхөөрөмж нь Nb2O5, TiO2, SiO2 болон бусад исэл, Cu, Al, Cr, Ti болон бусад энгийн металлуудыг хадгалах боломжтой бөгөөд эдгээрийг голчлон олон давхаргат оптик өнгөт хальс болон энгийн металл хальсыг хадгалахад ашигладаг. Энэхүү тоног төхөөрөмж нь PET хальс, дамжуулагч даавуу болон бусад уян хатан хальсан материалд тохиромжтой бөгөөд гар утасны гоёл чимэглэлийн хальс, сав баглаа боодлын хальс, цахилгаан соронзон хамгаалалтын хальс, ITO тунгалаг хальс болон бусад бүтээгдэхүүнд өргөн хэрэглэгддэг.
| Нэмэлт загварууд | Тоног төхөөрөмжийн хэмжээ (өргөн) |
| RCX1100 | 1100(мм) |