Оваа серија опрема користи магнетронски мети за претворање на материјалите за обложување во честички со нанометри, кои се таложат на површината на подлогите за да формираат тенки филмови. Валаната фолија се поставува во вакуумска комора. Преку електрично управуваната структура за намотување, едниот крај ја прима фолијата, а другиот ја става фолијата. Продолжува да поминува низ целната област и ги прима целните честички за да формира густ филм.
Карактеристично:
1. Формирање на филм на ниска температура. Температурата има мал ефект врз филмот и нема да предизвика деформација. Погоден е за PET, PI и други основни материјали за калеми.
2. Дебелината на филмот може да се дизајнира. Тенките или дебелите премази може да се дизајнираат и да се нанесуваат со прилагодување на процесот.
3. Дизајн со повеќекратна локација на целта, флексибилен процес. Целата машина може да биде опремена со осум цели, кои можат да се користат или како едноставни метални цели или како сложени и оксидни цели. Може да се користи за подготовка на еднослојни филмови со една структура или повеќеслојни филмови со композитна структура. Процесот е многу флексибилен.
Опремата може да подготви електромагнетна заштитна фолија, флексибилна обвивка на плочки, разни диелектрични филмови, повеќеслојна AR антирефлексна фолија, HR високо антирефлексна фолија, фолија во боја итн. Опремата има многу широк спектар на апликации, а еднослојното нанесување на филм може да се заврши со еднократно нанесување на филм.
Опремата може да користи едноставни метални цели како што се Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl итн., или сложени цели како што се SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO итн.
Опремата е мала по димензии, компактна по структура, мала по површина, ниска по потрошувачка на енергија и флексибилна подесување. Таа е многу погодна за истражување и развој на процеси или масовно производство во мали серии.