RCX1100

마그네트론 권선 코팅 장비는 마그네트론 스퍼터링 방식을 이용하여 진공 환경에서 코팅 재료를 기체 또는 이온 상태로 변화시킨 후, 가공물에 증착하여 치밀한 박막을 형성하는 장비입니다. 이를 통해 표면 상태를 개선하거나 기능성 또는 장식성 박막에 특정 성능을 부여할 수 있습니다.
이 장비는 마그네트론 스퍼터링 시스템과 정밀 권선 제어 시스템을 채택하고 있으며, 서보 모터 구동 제어 시스템을 장착하여 일정한 장력과 일정한 속도 제어를 구현합니다.

1. 자동 필름 평탄화 시스템을 장착하여 필름에 주름이 생기지 않고 권취 품질이 우수합니다.
2. 폐루프 제어 시스템을 추가하여 증착 속도를 향상시켰습니다. 이를 통해 폭 1100mm의 PET 코일에 다층 유전체 필름을 연속적으로 코팅할 수 있으며, 우수한 반복성과 안정적인 공정을 확보할 수 있습니다.
3. 권선 시스템과 타겟은 양쪽 끝에서 각각 당겨 뺄 수 있어 멤브레인 롤의 적재 및 하역과 유지보수 타겟 교체가 용이합니다.

해당 장비는 자동화 수준이 높고, 장비의 작동 상태를 자동으로 모니터링하며, 고장 경보 및 자동 보호 기능을 갖추고 있어 조작이 간편합니다.
본 장비는 Nb2O5, TiO2, SiO2 등의 산화물과 Cu, Al, Cr, Ti 등의 단순 금속을 증착할 수 있으며, 주로 다층 광학 컬러 필름 및 단순 금속 필름 증착에 사용됩니다. PET 필름, 전도성 천 등 연질 필름 소재에 적합하며, 휴대폰 장식 필름, 포장 필름, EMI 차폐 필름, ITO 투명 필름 등 다양한 제품에 널리 사용됩니다.