RCW600

이 장비 시리즈는 마그네트론 타겟을 사용하여 코팅 재료를 나노미터 크기의 입자로 변환하고, 이 입자는 기판 표면에 증착되어 박막을 형성합니다. 압연된 박막은 진공 챔버에 놓입니다. 전기적으로 구동되는 권선 구조를 통해 한쪽 끝은 박막을 받아들이고 다른 쪽 끝은 박막을 감습니다. 이 권선은 타겟 영역을 계속 통과하면서 타겟 입자를 받아들이고, 이를 통해 고밀도 박막을 형성합니다.
특성:

1. 저온 필름 성형. 온도 변화가 필름에 거의 영향을 미치지 않으며 변형이 발생하지 않습니다. PET, PI 및 기타 기본 소재 코일 필름에 적합합니다.
2. 필름 두께를 설계할 수 있습니다. 공정 조정을 통해 얇거나 두꺼운 코팅을 설계하고 증착할 수 있습니다.
3. 다중 타겟 위치 설계로 유연한 공정이 가능합니다. 전체 장비는 8개의 타겟을 장착할 수 있으며, 각 타겟은 단순 금속 타겟 또는 복합 및 산화물 타겟으로 사용할 수 있습니다. 단일 구조의 단층 필름 또는 복합 구조의 다층 필름을 제조하는 데 사용할 수 있으며, 공정이 매우 유연합니다.

본 장비는 전자파 차폐 필름, 플렉시블 회로 기판 코팅, 각종 유전체 필름, 다층 AR 반사 방지 필름, HR 고반사 방지 필름, 컬러 필름 등을 제조할 수 있으며, 응용 범위가 매우 광범위하고, 단층 필름 증착은 1회 필름 증착으로 완료할 수 있습니다.
이 장비는 Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl 등과 같은 간단한 금속 타겟이나 SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO 등과 같은 화합물 타겟을 채택할 수 있습니다.

이 장비는 크기가 작고, 구조가 콤팩트하며, 바닥 면적이 작고, 에너지 소비량이 적으며, 조정이 유연하여 공정 연구 개발이나 소량 대량 생산에 매우 적합합니다.