RCW600
Attrezzatura speciale per il rivestimento degli avvolgimenti per la ricerca scientifica
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DESCRIZIONE DEL PRODOTTO
Questa serie di apparecchiature utilizza bersagli magnetron per convertire i materiali di rivestimento in particelle di dimensioni nanometriche, che vengono depositate sulla superficie dei substrati per formare film sottili. Il film arrotolato viene inserito nella camera a vuoto. Attraverso la struttura di avvolgimento azionata elettricamente, un'estremità riceve il film e l'altra lo inserisce. Il film continua a passare attraverso l'area del bersaglio e riceve le particelle bersaglio per formare un film denso.
Caratteristica:
1. Formazione di film a bassa temperatura. La temperatura ha un effetto minimo sul film e non ne provoca la deformazione. Adatto per film in bobina di PET, PI e altri materiali di base.
2. Lo spessore del film può essere progettato. Rivestimenti sottili o spessi possono essere progettati e depositati mediante aggiustamenti del processo.
3. Progettazione con posizionamento multiplo del target, processo flessibile. L'intera macchina può essere equipaggiata con otto target, utilizzabili sia come target metallici semplici che come target composti e ossidi. Può essere utilizzata per preparare film monostrato con struttura singola o film multistrato con struttura composita. Il processo è molto flessibile.
L'attrezzatura può preparare pellicole di schermatura elettromagnetica, rivestimenti di circuiti stampati flessibili, varie pellicole dielettriche, pellicole antiriflesso AR multistrato, pellicole antiriflesso HR elevate, pellicole a colori, ecc. L'attrezzatura ha una gamma molto ampia di applicazioni e la deposizione di pellicole monostrato può essere completata mediante la deposizione di pellicole una tantum.
L'apparecchiatura può adottare bersagli metallici semplici quali Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ecc., o bersagli composti quali SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ecc.
L'apparecchiatura è di piccole dimensioni, con una struttura compatta, un ingombro ridotto, un basso consumo energetico e una flessibilità di regolazione. È ideale per la ricerca e lo sviluppo di processo o per la produzione di massa di piccoli lotti.
Modelli opzionali
| RCW350 | RCW600 |
| Larghezza 350 (mm)
| Larghezza 600 (mm)
|
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