RCX1100

Ngwa mkpuchi magnetron a na-eji usoro magnetron sputtering agbanwe ihe mkpuchi ahụ ka ọ bụrụ gas ma ọ bụ ionic na gburugburu ikuku, wee tinye ya n'elu ihe eji arụ ọrụ ahụ iji mepụta ihe nkiri dị oke njọ. Iji melite ọnọdụ elu ma ọ bụ nweta arụmọrụ pụrụ iche nke ihe nkiri ahụ ma ọ bụ ihe ịchọ mma.
Ngwa ahụ na-eji usoro magnetron sputtering na usoro njikwa nhazi ziri ezi, a na-ejikwa usoro njikwa servo moto draịva iji ghọta nrụgide na njikwa ọsọ mgbe niile.

1. Ejiri usoro ihe nkiri akpaka mee ka ọ dị larịị, ihe nkiri ahụ anaghị afụ ụfụ, àgwà ya dịkwa elu.
2. A na-agbakwunye sistemụ njikwa mkpọchi iji melite ọnụego nkwụnye. Enwere ike iji ihe nkiri dielectric multilayer kpuchie ya na PET coil na obosara nke 1100mm mgbe niile, yana ezigbo mmegharị na usoro kwụsiri ike.
3. Enwere ike ịdọpụta sistemụ na-agbagharị agbagharị na ihe mgbaru ọsọ site na nsọtụ abụọ ahụ iji mee ka ibu na iwepụ mpịakọta membrane ahụ dị mfe ma dochie ihe mgbaru ọsọ mmezi ahụ.

Ngwaọrụ a nwere oke akpaaka dị elu, na-enyocha ọnọdụ ọrụ nke akụrụngwa ahụ na akpaghị aka, ma nwee ọrụ nke mkpu njehie na nchekwa akpaaka. Ọrụ akụrụngwa ahụ adịghị ike.
Ngwa ndị a nwere ike itinye Nb2O5, TiO2, SiO2 na oxides ndị ọzọ, Cu, Al, Cr, Ti na ọla ndị ọzọ dị mfe, nke a na-ejikarị etinye ihe nkiri agba anya dị iche iche na ihe nkiri ígwè dị mfe. Ngwa a dabara adaba maka ihe nkiri PET, ákwà na-eduzi na ihe nkiri ndị ọzọ na-agbanwe agbanwe, a na-ejikwa ya nke ọma na ihe nkiri mma ekwentị mkpanaaka, ihe nkiri nkwakọ ngwaahịa, ihe nkiri nchekwa eletrọnịkị EMI, ihe nkiri transparent ITO na ngwaahịa ndị ọzọ.