Esta serie de equipos emprega obxectivos de magnetrón para converter os materiais de revestimento en partículas de tamaño nanométrico, que se depositan na superficie dos substratos para formar películas finas. A película enrolada colócase na cámara de baleiro. A través da estrutura de enrolamento accionada electricamente, un extremo recibe a película e o outro a introduce. Continúa a atravesar a área obxectivo e recibe as partículas obxectivo para formar unha película densa.
Característica:
1. Formación de película a baixa temperatura. A temperatura ten pouco efecto na película e non producirá deformación. É axeitada para películas de bobina de PET, PI e outros materiais base.
2. Pódese deseñar o grosor da película. Os revestimentos finos ou grosos pódense deseñar e depositar mediante o axuste do proceso.
3. Deseño de localización de obxectivos múltiples, proceso flexible. Toda a máquina pode equiparse con oito obxectivos, que se poden usar como obxectivos metálicos simples ou obxectivos compostos e de óxido. Pode usarse para preparar películas dunha soa capa con estrutura única ou películas multicapa con estrutura composta. O proceso é moi flexible.
O equipo pode preparar película de blindaxe electromagnética, revestimento de placas de circuíto flexibles, varias películas dieléctricas, película antirreflexo AR multicapa, película antirreflexo HR de alta resistencia, película en cor, etc. O equipo ten unha gama moi ampla de aplicacións e a deposición de película dunha soa capa pódese completar mediante a deposición de película dunha soa vez.
O equipo pode adoptar obxectivos metálicos simples como Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, etc., ou obxectivos compostos como SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, etc.
O equipo é de tamaño reducido, cun deseño de estrutura compacto, unha superficie reducida, un baixo consumo de enerxía e un axuste flexible. É moi axeitado para a investigación e o desenvolvemento de procesos ou a produción en masa de lotes pequenos.