RCW600

Aquesta sèrie d'equips utilitza dianes de magnetró per convertir els materials de recobriment en partícules de mida nanomètrica, que es dipositen a la superfície dels substrats per formar pel·lícules primes. La pel·lícula enrotllada es col·loca a la cambra de buit. A través de l'estructura de bobinatge accionada elèctricament, un extrem rep la pel·lícula i l'altre la col·loca. Continua passant per la zona objectiu i rep les partícules objectiu per formar una pel·lícula densa.
Característica:

1. Formació de pel·lícules a baixa temperatura. La temperatura té poc efecte sobre la pel·lícula i no produirà deformacions. És adequada per a pel·lícules de bobina de PET, PI i altres materials base.
2. Es pot dissenyar el gruix de la pel·lícula. Es poden dissenyar i dipositar recobriments prims o gruixuts mitjançant l'ajust del procés.
3. Disseny de múltiples ubicacions d'objectius, procés flexible. Tota la màquina es pot equipar amb vuit objectius, que es poden utilitzar com a objectius metàl·lics simples o objectius compostos i d'òxid. Es pot utilitzar per preparar pel·lícules d'una sola capa amb estructura única o pel·lícules multicapa amb estructura composta. El procés és molt flexible.

L'equip pot preparar pel·lícules de blindatge electromagnètic, recobriments de plaques de circuits flexibles, diverses pel·lícules dielèctriques, pel·lícules antireflectants AR multicapa, pel·lícules antireflectants HR d'alta resistència a la llum, pel·lícules en color, etc. L'equip té una gamma molt àmplia d'aplicacions i la deposició de pel·lícules d'una sola capa es pot completar mitjançant una deposició de pel·lícules única.
L'equip pot adoptar objectius metàl·lics simples com ara Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, etc., o objectius compostos com ara SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, etc.

L'equip és de mida petita, disseny d'estructura compacta, superfície reduïda, baix consum d'energia i ajust flexible. És molt adequat per a la investigació i desenvolupament de processos o la producció en massa de petits lots.