Ti a bawe pẹlu awọn imọ-ẹrọ miiran ti a bo, ti a bo sputtering ni awọn ẹya pataki wọnyi: awọn aye iṣẹ ni iwọn tolesese ti o ni agbara nla, iyara ati sisanra ti a bo (ipo agbegbe ti a bo) rọrun lati ṣakoso, ati pe ko si awọn ihamọ apẹrẹ lori geometry ti ibi-afẹde sputtering lati rii daju isokan ti ibora; Ipele fiimu ko ni iṣoro ti awọn patikulu droplet: fere gbogbo awọn irin, awọn ohun elo ati awọn ohun elo seramiki le ṣee ṣe sinu awọn ohun elo afojusun; Nipasẹ DC tabi RF sputtering, irin mimọ tabi awọn ohun elo alloy pẹlu kongẹ ati awọn iwọn igbagbogbo ati awọn fiimu ifaseyin irin pẹlu ikopa gaasi le ṣe ipilẹṣẹ lati pade awọn ibeere oniruuru ati pipe-giga ti awọn fiimu. Awọn paramita ilana aṣoju ti wiwa sputtering jẹ: titẹ iṣẹ jẹ 01Pa; Foliteji afojusun jẹ 300 ~ 700V, ati iwuwo agbara afojusun jẹ 1 ~ 36W / cm2. Awọn abuda kan pato ti sputtering ni:
(1) Iwọn fifisilẹ giga. Nitori lilo awọn amọna, awọn ṣiṣan ion bombardment ibi-afẹde ti o tobi pupọ le ṣee gba, nitorinaa oṣuwọn etching sputtering lori dada ibi-afẹde ati iwọn fifisilẹ fiimu lori dada sobusitireti ga.
(2) Agbara agbara giga. Iṣeeṣe ikọlu laarin awọn elekitironi agbara kekere ati awọn ọta gaasi ga, nitorinaa oṣuwọn ionization gaasi ti pọ si pupọ. Ni ibamu, ikọlu ti gaasi idasilẹ (tabi pilasima) dinku pupọ. Nitorinaa, ti a bawe pẹlu DC meji-polu sputtering, paapaa ti titẹ iṣẹ ba dinku lati 1 ~ 10Pa si 10-2 ~ 10-1Pa, foliteji sputtering ti dinku lati ọpọlọpọ ẹgbẹrun volts si awọn ọgọọgọrun volts, ati ṣiṣe sputtering ati oṣuwọn ifisilẹ pọ si nipasẹ awọn aṣẹ ti titobi.
(3) Agbara kekere sputtering. Nitori foliteji kekere cathode ti a lo si ibi-afẹde, pilasima naa ni a dè ni aaye nitosi cathode nipasẹ aaye oofa, eyiti o ṣe idiwọ iṣẹlẹ ti awọn patikulu agbara agbara-giga si ẹgbẹ ti sobusitireti. Nitorinaa, iwọn ibajẹ ti o ṣẹlẹ nipasẹ bombardment ti awọn patikulu ti o gba agbara si awọn sobusitireti gẹgẹbi awọn ẹrọ semikondokito jẹ kekere ju ti awọn ọna sputtering miiran.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹsan-08-2023