די סעריע פון עקוויפּמענט ניצט מאַגנעטראָן טאַרגעטן צו קאָנווערטירן קאָוטינג מאַטעריאַלן אין נאַנאָמעטער-גרייס פּאַרטיקלען, וואָס ווערן אַוועקגעלייגט אויף דער ייבערפלאַך פון סאַבסטראַטן צו שאַפֿן דין פילמען. די ראָולד פילם ווערט געשטעלט אין דער וואַקוום קאַמער. דורך דער עלעקטריש געטריבענער ווינדינג סטרוקטור, באַקומט איין עק דעם פילם און דער אַנדערער לייגט אַרײַן דעם פילם. עס גייט ווייטער דורך דעם ציל געגנט און באַקומט די ציל פּאַרטיקלען צו שאַפֿן אַ געדיכטן פילם.
כאַראַקטעריסטיש:
1. נידעריקע טעמפּעראַטור פילם פאָרמירונג. די טעמפּעראַטור האט קליינע ווירקונג אויף די פילם און וועט נישט פּראָדוצירן קיין דעפאָרמאַציע. עס איז פּאַסיק פֿאַר PET, PI און אַנדערע באַזע מאַטעריאַל שפּול פילמען.
2. די פילם גרעב קען זיין דיזיינט. דין אָדער דיק קאָוטינגז קענען זיין דיזיינט און דעפּאַזיטעד דורך פּראָצעס אַדזשאַסטמאַנט.
3. דיזיין פֿאַר קייפל צילן, פלעקסיבל פּראָצעס. די גאַנצע מאַשין קען זיין אויסגעשטאַט מיט אַכט צילן, וואָס קענען ווערן גענוצט ווי פּשוטע מעטאַל צילן אָדער קאַמפּאַונד און אָקסייד צילן. עס קען ווערן גענוצט צו צוגרייטן איין-שיכטיק פילמען מיט איין סטרוקטור אָדער מער-שיכטיק פילמען מיט קאָמפּאָזיט סטרוקטור. דער פּראָצעס איז זייער פלעקסיבל.
די עקוויפּמענט קען צוגרייטן עלעקטראָמאַגנעטישע שילדינג פילם, פלעקסאַבאַל קרייַז ברעט קאָוטינג, פֿאַרשידענע דיעלעקטרישע פילמען, מולטי-שיכטיק AR אַנטי-רעפלעקציע פילם, HR הויך אַנטי-רעפלעקציע פילם, קאָליר פילם, אאז"ו ו. די עקוויפּמענט האט אַ זייער ברייט קייט פון אַפּלאַקיישאַנז, און איין-שיכטיק פילם דעפּאַזישאַן קענען זיין געענדיקט דורך איין-מאָל פילם דעפּאַזישאַן.
די עקוויפּמענט קען אַדאַפּטירן פּשוטע מעטאַל צילן ווי אַל, קר, קופּער, פע, ני, סוס, טיאַל, אאז"וו, אָדער קאַמפּאַונד צילן ווי סיO2, סי3N4, אַל2אָ3, סנאָ2, זנאָ, טאַ2אָ5, איטאָ, אַזאָ, אאז"וו.
די עקוויפּמענט איז קליין אין גרייס, קאָמפּאַקט אין סטרוקטור פּלאַן, קליין אין שטאָק שטח, נידעריק אין ענערגיע קאַנסאַמשאַן, און פלעקסאַבאַל אין אַדזשאַסטמאַנט. עס איז זייער פּאַסיק פֿאַר פּראָצעס פאָרשונג און אַנטוויקלונג אָדער קליין באַטש מאַסע פּראָדוקציע.