קאַמפּערד מיט אַנדערע קאָוטינג טעקנאַלאַדזשיז, האט ספּאַטערינג קאָוטינג די פאלגענדע וויכטיקע פֿעיִקייטן: די אַרבעט פּאַראַמעטערס האָבן אַ גרויס דינאַמיש אַדזשאַסטמאַנט קייט, די קאָוטינג דעפּאַזישאַן גיכקייַט און גרעב (דער צושטאַנד פון די קאָוטינג געגנט) זענען גרינג צו קאָנטראָלירן, און עס זענען קיין פּלאַן ריסטריקשאַנז אויף די דזשיאַמעטרי פון די ספּאַטערינג ציל צו ענשור די יונאַפאָרמאַטי פון די קאָוטינג; די פילם שיכט האט נישט די פּראָבלעם פון טראָפּן פּאַרטיקאַלז: כּמעט אַלע מעטאַלן, אַלויז און קעראַמיק מאַטעריאַלס קענען זיין געמאכט אין ציל מאַטעריאַלס; דורך DC אָדער RF ספּאַטערינג, ריין מעטאַל אָדער אַלויז קאָוטינגז מיט פּינטלעך און קאָנסטאַנט פּראָפּאָרציעס און מעטאַל רעאַקציע פילמס מיט גאַז אָנטייל קענען זיין דזשענערייטאַד צו טרעפן די דייווערס און הויך-פּינטלעכקייט באדערפענישן פון פילמס. די טיפּיש פּראָצעס פּאַראַמעטערס פון ספּאַטערינג קאָוטינג זענען: דער אַרבעט דרוק איז 01Pa; די ציל וואָולטידזש איז 300~700V, און די ציל מאַכט געדיכטקייַט איז 1~36W/cm2. די ספּעציפיש קעראַקטעריסטיקס פון ספּאַטערינג זענען:
(1) הויכע דעפּאָזיציע ראַטע. צוליב דעם באַנוץ פון עלעקטראָדן, קען מען באַקומען זייער גרויסע ציל באָמבאַרדירונג יאָן שטראָמען, אַזוי די ספּאַטערינג עטשינג ראַטע אויף דער ציל ייבערפלאַך און די פילם דעפּאָזיציע ראַטע אויף דער סאַבסטראַט ייבערפלאַך זענען הויך.
(2) הויכע מאַכט עפעקטיווקייט. די וואַרשיינלעכקייט פון אַ קאָליזיע צווישן נידעריק-ענערגיע עלעקטראָנען און גאַז אַטאָמען איז הויך, אַזוי די גאַז ייאַניזאַציע קורס איז שטארק געוואקסן. אַנטשפּרעכנדיק, די ימפּידאַנס פון די דיסטשאַרדזש גאַז (אָדער פּלאַזמע) איז שטארק רידוסט. דעריבער, קאַמפּערד מיט DC צוויי-פּאָל ספּאַטערינג, אפילו אויב דער אַרבעט דרוק איז רידוסט פון 1~10Pa צו 10-2~10-1Pa, די ספּאַטערינג וואָולטידזש איז רידוסט פון עטלעכע טויזנט וואלט צו הונדערטער פון וואלט, און די ספּאַטערינג עפעקטיווקייט און דעפּאָזיציע קורס פאַרגרעסערן מיט אָרדערס פון מאַגניטוד.
(3) נידעריק-ענערגיע שפּריצן. צוליב דעם נידעריקן קאַטאָדע וואָולטאַזש וואָס ווערט אָנגעווענדט צום ציל, ווערט די פּלאַזמע געבונדן אין דעם פּלאַץ לעבן דער קאַטאָדע דורך אַ מאַגנעטישן פעלד, וואָס פאַרהיט דעם אויפקומען פון הויך-ענערגיע געלאָדענע פּאַרטיקלען צו דער זייט פון דעם סאַבסטראַט. דעריבער, איז דער גראַד פון שאָדן וואָס ווערט פאַראורזאַכט דורך דעם באָמבאַרדירן פון געלאָדענע פּאַרטיקלען צו סאַבסטראַטן ווי האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס נידעריקער ווי ביי אַנדערע שפּריצן מעטאָדן.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ.
פּאָסט צייט: סעפּטעמבער 08-2023