RCW600

Loạt thiết bị này sử dụng các mục tiêu magnetron để chuyển đổi vật liệu phủ thành các hạt có kích thước nanomet, được lắng đọng trên bề mặt của chất nền để tạo thành màng mỏng. Màng cuộn được đặt trong buồng chân không. Thông qua cấu trúc cuộn được điều khiển bằng điện, một đầu nhận màng và đầu kia đặt màng. Nó tiếp tục đi qua vùng mục tiêu và nhận các hạt mục tiêu để tạo thành màng dày đặc.
Đặc điểm:

1. Tạo màng nhiệt độ thấp. Nhiệt độ ít ảnh hưởng đến màng và không gây biến dạng. Thích hợp cho màng cuộn PET, PI và các vật liệu cơ bản khác.
2. Độ dày màng có thể được thiết kế. Lớp phủ mỏng hoặc dày có thể được thiết kế và lắng đọng bằng cách điều chỉnh quy trình.
3. Thiết kế vị trí mục tiêu đa dạng, quy trình linh hoạt. Toàn bộ máy có thể được trang bị tám mục tiêu, có thể được sử dụng làm mục tiêu kim loại đơn giản hoặc mục tiêu hợp chất và oxit. Có thể được sử dụng để chế tạo màng một lớp có cấu trúc đơn hoặc màng nhiều lớp có cấu trúc composite. Quy trình rất linh hoạt.

Thiết bị có thể chế tạo màng chắn điện từ, lớp phủ bảng mạch linh hoạt, các loại màng điện môi, màng chống phản xạ AR nhiều lớp, màng chống phản xạ cao HR, màng màu, v.v. Thiết bị có phạm vi ứng dụng rất rộng và quá trình lắng đọng màng một lớp có thể được hoàn thành bằng quá trình lắng đọng màng một lần.
Thiết bị có thể sử dụng các mục tiêu kim loại đơn giản như Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, v.v. hoặc các mục tiêu hợp chất như SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, v.v.

Thiết bị có kích thước nhỏ, thiết kế kết cấu nhỏ gọn, diện tích sàn nhỏ, tiêu thụ năng lượng thấp, điều chỉnh linh hoạt, rất phù hợp cho nghiên cứu phát triển quy trình hoặc sản xuất hàng loạt nhỏ.