Ця серія обладнання використовує магнетронні мішені для перетворення покривних матеріалів на нанометрові частинки, які осідають на поверхні підкладок для формування тонких плівок. Згорнута плівка поміщається у вакуумну камеру. Через електрично керовану обмотку один кінець приймає плівку, а інший — її поміщає. Вона продовжує проходити через цільову область та приймає цільові частинки, утворюючи щільну плівку.
Характеристика:
1. Формування плівки за низьких температур. Температура мало впливає на плівку та не призводить до деформації. Підходить для рулонних плівок з ПЕТ, ПІ та інших базових матеріалів.
2. Товщину плівки можна спроектувати. Тонкі або товсті покриття можна спроектувати та нанести шляхом регулювання процесу.
3. Конструкція з кількома мішенями для розташування, гнучкий процес. Вся машина може бути оснащена вісьмома мішенями, які можна використовувати як прості металеві мішені, так і як складні та оксидні мішені. Її можна використовувати для приготування одношарових плівок з одинарною структурою або багатошарових плівок з композитною структурою. Процес дуже гнучкий.
Обладнання може готувати плівку для електромагнітного екранування, покриття гнучких плат, різні діелектричні плівки, багатошарову антиблікову плівку AR, високоякісну антиблікову плівку HR, кольорову плівку тощо. Обладнання має дуже широкий спектр застосування, а одношарове нанесення плівки може бути виконано шляхом одноразового нанесення плівки.
Обладнання може використовувати прості металеві мішені, такі як Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl тощо, або складні мішені, такі як SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO тощо.
Обладнання має невеликі розміри, компактну конструкцію, невелику площу підлоги, низьке енергоспоживання та гнучке налаштування. Воно дуже підходить для досліджень та розробок процесів або масового виробництва невеликими партіями.