Порівняно з іншими технологіями нанесення покриттів, напилення має такі важливі особливості: робочі параметри мають широкий динамічний діапазон регулювання, швидкість та товщину нанесення покриття (стан області покриття) легко контролювати, а також немає конструктивних обмежень щодо геометрії напилювальної мішені, що забезпечує однорідність покриття; шар плівки не має проблеми з крапельними частинками: майже всі метали, сплави та керамічні матеріали можна перетворити на мішені; за допомогою постійного або радіочастотного напилення можна створювати покриття з чистого металу або сплаву з точними та постійними пропорціями, а також плівки з реакції металу за участю газу, що відповідають різноманітним та високоточним вимогам до плівок. Типові параметри процесу напилення: робочий тиск 0,1 Па; напруга на мішені 300~700 В, а щільність потужності мішені 1~36 Вт/см2. Специфічні характеристики напилення:
(1) Висока швидкість осадження. Завдяки використанню електродів можна отримати дуже великі іонні струми бомбардування мішені, тому швидкість розпилення та травлення на поверхні мішені та швидкість осадження плівки на поверхні підкладки є високими.
(2) Висока енергоефективність. Ймовірність зіткнення низькоенергетичних електронів з атомами газу висока, тому швидкість іонізації газу значно збільшується. Відповідно, імпеданс розрядного газу (або плазми) значно зменшується. Тому, порівняно з двополюсним розпиленням постійного струму, навіть якщо робочий тиск зменшується з 1~10⁻⁶ Па до 10⁻²~10⁻¹ Па, напруга розпилення зменшується з кількох тисяч вольт до сотень вольт, а ефективність розпилення та швидкість осадження зростають на порядки.
(3) Низькоенергетичне розпилення. Через низьку напругу катода, що прикладається до мішені, плазма зв'язується в просторі поблизу катода магнітним полем, яке гальмує падіння високоенергетичних заряджених частинок на бік підкладки. Тому ступінь пошкодження, спричиненого бомбардуванням заряджених частинок підкладок, таких як напівпровідникові прилади, є нижчим, ніж у інших методів розпилення.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа.
Час публікації: 08 вересня 2023 р.