باشقا سىرلاش تېخنىكىسىغا سېلىشتۇرغاندا ، پۈركۈش قەۋىتىنىڭ تۆۋەندىكىدەك مۇھىم ئالاھىدىلىكلىرى بار: خىزمەت پارامېتىرلىرىنىڭ ھەرىكەتچان تەڭشەش دائىرىسى چوڭ ، سىرنىڭ چۆكۈش سۈرئىتى ۋە قېلىنلىقى (سىر رايونىنىڭ ھالىتى) كونترول قىلىش ئاسان ، پۈركۈش نىشانىنىڭ گېئومېتىرىيىسىدە لايىھىلەش چەكلىمىسى يوق ، سىرنىڭ بىردەك بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. فىلىم قەۋىتىدە تامچە زەررىچىلەر مەسىلىسى يوق: مېتال ، قېتىشما ۋە ساپال ماتېرىياللارنىڭ ھەممىسىنى دېگۈدەك نىشان ماتېرىيالغا ئايلاندۇرغىلى بولىدۇ. DC ياكى RF پۈركۈش ئارقىلىق ، ساپ مېتال ياكى قېتىشمىلىق سىر ۋە ئېنىق ۋە دائىملىق نىسبەتتىكى مېتال رېئاكسىيەلىك فىلىم ھاسىل قىلىپ ، فىلىملەرنىڭ كۆپ خىل ۋە يۇقىرى ئېنىقلىق تەلىپىنى قاندۇرالايدۇ. پۈركۈش قەۋىتىنىڭ تىپىك جەريان پارامېتىرلىرى: خىزمەت بېسىمى 01Pa; نىشان توك بېسىمى 300 ~ 700V ، نىشاننىڭ توك زىچلىقى 1 ~ 36W / cm2. پۈركۈشنىڭ كونكرېت ئالاھىدىلىكى:
(1) چۆكۈش نىسبىتى يۇقىرى. ئېلېكترود ئىشلىتىلگەنلىكتىن ، ناھايىتى چوڭ نىشان بومبا بومبا ئىئون ئېقىمىغا ئېرىشكىلى بولىدۇ ، شۇڭا نىشان يۈزىدىكى داغ چۈشۈش نىسبىتى ۋە يەر ئاستى يۈزىدىكى پىلاستىنكىنىڭ چۆكۈش نىسبىتى يۇقىرى بولىدۇ.
(2) يۇقىرى قۇۋۋەت ئۈنۈمى. تۆۋەن ئېنېرگىيەلىك ئېلېكترونلار بىلەن گاز ئاتوملىرىنىڭ سوقۇلۇش ئېھتىماللىقى يۇقىرى ، شۇڭا گاز ئىئونلاشتۇرۇش نىسبىتى زور دەرىجىدە ئۆستى. ماس ھالدا ، قويۇپ بېرىش گازى (ياكى پلازما) نىڭ توسالغۇسى زور دەرىجىدە تۆۋەنلەيدۇ. شۇڭلاشقا ، DC ئىككى قۇتۇپلۇق پۈركۈش بىلەن سېلىشتۇرغاندا ، خىزمەت بېسىمى 1 ~ 10Pa دىن 10-2 ~ 10-1Pa غىچە تۆۋەنلىگەن تەقدىردىمۇ ، پۈركۈش بېسىمى نەچچە مىڭ ۋولتتىن نەچچە يۈز ۋولتقا تۆۋەنلەيدۇ ، چوڭلۇق بۇيرۇقى بىلەن پۈركۈش ئۈنۈمى ۋە چۆكۈش نىسبىتى ئاشىدۇ.
(3) تۆۋەن ئېنېرگىيەلىك پۈركۈش. نىشانغا ئىشلىتىلگەن كاتود بېسىمى تۆۋەن بولغاچقا ، پلازما كاتود ئەتراپىدىكى بوشلۇقتا ماگنىت مەيدانى بىلەن باغلىنىدۇ ، بۇ يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك زەررىچە زەررىچىلەرنىڭ ئاستى تەرىپىگە تۇتىشىدۇ. شۇڭلاشقا ، زەرەتلىگۈچى زەررىچىلەرنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسى قاتارلىق تارماق ئېلېمېنتلارغا بومبا پارتىلىشىدىن كېلىپ چىققان زىيان دەرىجىسى باشقا پۈركۈش ئۇسۇللىرىغا قارىغاندا تۆۋەن بولىدۇ.
–بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا.
يوللانغان ۋاقتى: 08-سېنتەبىردىن 20-سېنتەبىرگىچە