RCW600

Bu ekipman serisi, kaplama malzemelerini nanometre boyutunda parçacıklara dönüştürmek için magnetron hedefleri kullanır ve bunlar ince filmler oluşturmak için alt tabakaların yüzeyine biriktirilir. Rulo haline getirilen film vakum odasına yerleştirilir. Elektrikle çalışan sarma yapısı aracılığıyla, bir uç filmi alır ve diğeri filmi koyar. Hedef alandan geçmeye devam eder ve yoğun bir film oluşturmak için hedef parçacıkları alır.
Özellik:

1. Düşük sıcaklıkta film oluşturma. Sıcaklığın film üzerinde çok az etkisi vardır ve deformasyona neden olmaz. PET, PI ve diğer temel malzeme bobin filmleri için uygundur.
2. Film kalınlığı tasarlanabilir. İnce veya kalın kaplamalar tasarlanabilir ve proses ayarlaması ile biriktirilebilir.
3. Çoklu hedef konum tasarımı, esnek süreç. Tüm makine, basit metal hedefler veya bileşik ve oksit hedefler olarak kullanılabilen sekiz hedefle donatılabilir. Tek katmanlı, tek yapılı filmler veya kompozit yapılı çok katmanlı filmler hazırlamak için kullanılabilir. Süreç çok esnektir.

Ekipman, elektromanyetik koruma filmi, esnek devre kartı kaplaması, çeşitli dielektrik filmler, çok katmanlı AR yansıma önleyici film, HR yüksek yansıma önleyici film, renkli film vb. hazırlayabilir. Ekipmanın çok geniş bir uygulama yelpazesi vardır ve tek katmanlı film birikimi, tek seferlik film birikimi ile tamamlanabilir.
Ekipman, Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl vb. gibi basit metal hedefleri veya SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO vb. gibi bileşik hedefleri benimseyebilir.

Ekipman küçük boyutlu, yapı tasarımı kompakt, taban alanı küçük, enerji tüketimi düşük ve ayarlamada esnektir. Proses araştırma ve geliştirme veya küçük parti seri üretim için çok uygundur.