Diğer kaplama teknolojileriyle karşılaştırıldığında, püskürtme kaplamanın aşağıdaki önemli özellikleri vardır: çalışma parametreleri geniş bir dinamik ayar aralığına sahiptir, kaplama biriktirme hızı ve kalınlığı (kaplama alanının durumu) kontrol edilmesi kolaydır ve kaplamanın tekdüzeliğini sağlamak için püskürtme hedefi geometrisinde tasarım kısıtlamaları yoktur; Film tabakasında damlacık parçacıkları sorunu yoktur: hemen hemen tüm metaller, alaşımlar ve seramik malzemeler hedef malzemelere dönüştürülebilir; DC veya RF püskürtme ile, hassas ve sabit oranlarda saf metal veya alaşım kaplamalar ve gaz katılımlı metal reaksiyon filmleri, filmlerin çeşitli ve yüksek hassasiyetli gereksinimlerini karşılamak için üretilebilir. Püskürtme kaplamanın tipik işlem parametreleri şunlardır: çalışma basıncı 01Pa'dır; Hedef voltaj 300 ~ 700V'dur ve hedef güç yoğunluğu 1 ~ 36W / cm2'dir. Püskürtmenin özel özellikleri şunlardır:
(1) Yüksek biriktirme oranı. Elektrotların kullanımı nedeniyle, çok büyük hedef bombardıman iyon akımları elde edilebilir, böylece hedef yüzeyindeki püskürtme aşındırma oranı ve alt tabaka yüzeyindeki film biriktirme oranı yüksektir.
(2) Yüksek güç verimliliği. Düşük enerjili elektronlar ile gaz atomları arasındaki çarpışma olasılığı yüksektir, bu nedenle gaz iyonlaşma oranı büyük ölçüde artar. Buna karşılık, deşarj gazının (veya plazmanın) empedansı büyük ölçüde azalır. Bu nedenle, DC iki kutuplu püskürtme ile karşılaştırıldığında, çalışma basıncı 1~10Pa'dan 10-2~10-1Pa'ya düşürülse bile, püskürtme voltajı birkaç bin volttan yüzlerce volta düşürülür ve püskürtme verimliliği ve biriktirme oranı büyüklük sırasına göre artar.
(3) Düşük enerjili püskürtme. Hedefe uygulanan düşük katot voltajı nedeniyle, plazma, yüksek enerjili yüklü parçacıkların alt tabakanın yanına gelmesini engelleyen bir manyetik alanla katot yakınındaki boşluğa bağlanır. Bu nedenle, yüklü parçacıkların yarı iletken cihazlar gibi alt tabakalara bombardımanının neden olduğu hasar derecesi, diğer püskürtme yöntemlerinden daha düşüktür.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua.
Gönderi zamanı: Sep-08-2023