A. Ýokary püskürme tizligi. Mysal üçin, SiO2 püskürende, çökme tizligi 200 nm/min-e çenli, adatça 10 ~ 100 nm/min-e çenli bolup biler.
Plenkanyň emele gelme tizligi ýokary ýygylykly güýje gönüden-göni proporsionaldyr.
B. Plýonka bilen substratyň arasyndaky ýelmeşme plýonka gatlagynyň wakuum bug çökündisinden has ulydyr. Bu, düşýän atomyň göwresine ortaça kinetik energiýasynyň takmynan 10 eV bolmagy bilen baglanyşyklydyr we plazma substratynda berk püskürtme arassalanmagyna sezewar edilýär, bu bolsa membrana gatlagynda az deşikleriň, ýokary arassalygyň we dykyz membrana gatlagynyň döremegine getirýär.
C. Membran materialynyň giň uýgunlaşma ukyby, metal ýa-da metal däl ýa-da birleşmeler, diýen ýaly ähli materiallar tegelek plastinka taýýarlap bolýar, uzak wagtlap ulanylyp bilner.
D. Substratyň görnüşine bildirilýän talaplar berk däl. Substratyň deň däl ýüzüni ýa-da ini 1 mm-den az bolan kiçi ýaryklaryň bolmagyny hem plýonka sepip bolýar.
Radio ýygylykly püskürtme örtüginiň ulanylyşy Ýokardaky häsiýetnamalara esaslanyp, radio ýygylykly püskürtme arkaly goýlan örtük häzirki wagtda has giňden ulanylýar, esasanam integral mikroshemalary taýýarlamakda we dielektrik funksiýaly plýonka has giňden ulanylýar. Mysal üçin, RF püskürtme arkaly goýlan geçiriji däl we ýarymgeçiriji materiallar, şol sanda elementler: ýarymgeçiriji Si we Ge, GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, ýokary temperaturaly ýarymgeçirijiler SiC, ferroelektrik birleşmeler B14T3O12, gazlaşdyrma obýekt materiallary In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, aýna, plastik we ş.m.
Eger örtük kamerasyna birnäçe nyşana goýulsa, wakuumy birbada zaýalamazdan, şol bir kamerada köp gatlakly plýonkany taýýarlamak hem mümkin. Disulfid örtügini taýýarlamak üçin içki we daşky halkalary götermek üçin niýetlenen elektrod radio ýygylyk enjamy, ulanylýan enjamlaryň mysaly hökmünde 11.36MHz radio ýygylyk çeşmesiniň ýygylygy, nyşana naprýaženiýesi 2 ~ 3kV, umumy kuwwaty 12kW, magnit induksiýa güýjüniň iş diapazony 0.008T, wakuum kamerasynyň wakuum çägi 6.5X10-4Pa. Ýokary we pes çökündi tizligi. Mundan başga-da, RF püskürtme güýjüniň ulanylyş netijeliligi pes we köp mukdarda energiýa nyşana sowadyjy suwdan ýitýän ýylylyga öwrülýär.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 21-nji dekabry