A. Oke ọsọ ịgbawa. Dịka ọmụmaatụ, mgbe ị na-agbawa SiO2, ọnụego ntinye nwere ike iru 200nm/min, na-abụkarị ruo 10~100nm/min.
Ọkwa nke mmepụta ihe nkiri ahụ dabere kpọmkwem na ike ugboro ugboro dị elu.
B. Njiko dị n'etiti ihe nkiri ahụ na ihe mkpuchi ahụ karịrị ihe e tinyere n'ime uzuoku nke oyi akwa ihe nkiri ahụ. Nke a bụ n'ihi ike kinetic nke atọm nke ihe merenụ nke dị ihe dị ka 10eV, a ga-asachapụ ihe mkpuchi ahụ nke ọma na plasma substrate nke na-eme ka oghere dị obere na oyi akwa akpụkpọ ahụ, ịdị ọcha dị elu, na akwa akpụkpọ ahụ dị oke njọ.
C. Enwere ike ime mgbanwe sara mbara nke ihe mkpuchi ahụ, ma ọ bụ ígwè ma ọ bụ ihe na-abụghị ígwè ma ọ bụ ihe ndị dị na ya, ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ihe niile nwere ike ịdị ka efere gburugburu, enwere ike iji ya ruo ogologo oge.
D. Ihe achọrọ maka ọdịdị nke ihe mkpuchi ahụ adịghị mkpa. Elu na-adịghị nhata nke ihe mkpuchi ahụ ma ọ bụ ọnụnọ nke obere oghere nwere obosara na-erughị 1mm nwekwara ike ịgbasa n'ime ihe nkiri.
Ojiji nke mkpuchi sputtering ugboro redio Dabere na njirimara ndị dị n'elu, a na-ejikarị mkpuchi nke sputtering ugboro redio eme ihe ugbu a, ọkachasị n'ịkwadebe sekit agbakwunyere na ihe nkiri ọrụ dielectric. Dịka ọmụmaatụ, ihe ndị na-abụghị conductor na semiconductor nke sputtering RF na-etinye, gụnyere ihe ndị dị ka semiconductor Si na Ge, ihe ndị mejupụtara GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, semiconductors okpomọkụ dị elu SiC, ihe ndị mejupụtara ferroelectric B14T3O12, ihe ndị mejupụtara gasification In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, iko, plastik, wdg.
Ọ bụrụ na etinye ọtụtụ ihe mgbaru ọsọ n'ime ụlọ mkpuchi ahụ, ọ ga-ekwe omume imecha nkwadebe nke ihe nkiri ọtụtụ oyi akwa n'otu ụlọ ahụ na-ebibighị ihe mkpofu ahụ n'otu oge. Ngwaọrụ redio electrode raara onwe ya nye maka ibu mgbanaka dị n'ime na mpụta maka nkwadebe mkpuchi disulfide bụ ihe atụ nke akụrụngwa eji na ugboro isi iyi redio nke 11.36MHz, voltaji ebumnuche nke 2 ~ 3kV, ike zuru oke nke 12kW, oke ọrụ nke ike induction magnetik nke 0.008T, oke nke vacuum ụlọ vacuum bụ 6.5X10-4Pa. oke na obere ọnụego nchekwa. Ọzọkwa, arụmọrụ ike sputtering RF dị ala, a na-agbanwekwa nnukwu ike ka ọ bụrụ okpomọkụ, nke na-efunahụ mmiri oyi nke ihe mgbaru ọsọ ahụ.
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua
Oge ozi: Disemba-21-2023